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1. (WO1999040347) VACUUM ARRANGEMENT WITH A VACUUM DISC VALVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/040347    International Application No.:    PCT/CH1999/000036
Publication Date: 12.08.1999 International Filing Date: 27.01.1999
Chapter 2 Demand Filed:    23.07.1999    
IPC:
F16K 3/18 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01)
Applicants: UNAXIS TRADING AG [CH/CH]; c/o Balzers AG, CH-9477 Trübbach (CH) (For All Designated States Except US).
WAGNER, Rudolf [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: WAGNER, Rudolf; (CH)
Agent: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Siewerdtstrasse 95, CH-8050 Zürich (CH)
Priority Data:
273/98 04.02.1998 CH
Title (DE) VAKUUMANORDNUNG MIT EINEM VAKUUMPLATTENVENTIL
(EN) VACUUM ARRANGEMENT WITH A VACUUM DISC VALVE
(FR) DISPOSITIF A VIDE COMPORTANT UNE SOUPAPE A DISQUE A VIDE
Abstract: front page image
(DE)Es wird eine Vakuumanordnung vorgeschlagen mit einem Vakuumplattenventil. Entlang einer Wand (3) mit einer ventilzubedienenden Öffnung (19) ist eine Trägerplatte (1) beweglich geführt. An der Trägerplatte (1) ist, gesteuert über einen Zylinderraum betätigbar, eine Dichtplatte (7) vorgesehen. Durch Bewegen der Trägerplatte (1) wird die Dichtplatte (7) in Ausrichtung auf die Öffnung (19) gebracht und durch Zylinderraum-Betätigung dichtend an deren Umrandung angelegt. Die resultierenden Dichtkräfte werden durch Bewegungsführungen (5) für die Trägerplatte (1) aufgenommen.
(EN)The invention relates to a vacuum arrangement with a vacuum disc valve. A support plate (1) is movably guided along a wall (3) with an orifice (19) that is closed or opened by a valve. A seal plate (7) is provided on the support plate (1), which is controlled and actuated through a cylinder chamber. When the support plate (1) is moved, the seal plate (7) is displaced in the direction of the orifice (19) and is tightly placed on the borders of said orifice by actuation in the cylinder chamber. The resulting sealing forces are absorbed by the movement guides (5) of the support plate (1).
(FR)L'invention concerne un dispositif à vide comportant une soupape à disque à vide. Le long d'une paroi (3) comportant une ouverture (19) à ouvrir ou fermer par une soupape, est guidée une plaque de support (1) qui se déplace. Sur ladite plaque de support (1) se trouve un disque d'étanchéité (7) qui peut être actionné de façon commandée par l'intermédiaire d'une chambre de cylindre. Par déplacement de la plaque de support (1), le disque d'étanchéité (7) est aligné sur l'ouverture (19) et appliqué contre le bord de ladite ouverture, de façon étanche, par un actionnement effectué dans la chambre de cylindre. Les forces d'étanchéité produites sont absorbées par les guides de déplacement (5) de la plaque de support (1).
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)