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1. (WO1999039860) PERMANENT MAGNET ECR PLASMA SOURCE WITH MAGNETIC FIELD OPTIMIZATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/039860    International Application No.:    PCT/US1999/002321
Publication Date: 12.08.1999 International Filing Date: 02.02.1999
Chapter 2 Demand Filed:    31.08.1999    
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: PLASMAQUEST, INC. [US/US]; 12024 Forestgate Drive Dallas, TX 75234 (US) (For All Designated States Except US).
DOUGHTY, Frank, C. [US/US]; (US) (For US Only).
SPENCER, John, E. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DOUGHTY, Frank, C.; (US).
SPENCER, John, E.; (US)
Agent: ROSE, Jamie, H.; Testa, Hurwitz & Thibeault, LLP High Street Tower 125 High Street Boston, MA 02110 (US)
Priority Data:
09/019,573 06.02.1998 US
Title (EN) PERMANENT MAGNET ECR PLASMA SOURCE WITH MAGNETIC FIELD OPTIMIZATION
(FR) SOURCE DE PLASMA PAR RESONANCE ELECTRONIQUE CYCLOTRONIQUE A AIMANT PERMANENT AVEC OPTIMISATION DE CHAMP MAGNETIQUE
Abstract: front page image
(EN)In a plasma-producing device, an optimized magnet field for electron cyclotron resonance (ECR) plasma generation is provided by a shaped pole piece (120). The shaped pole piece (120) adjusts spacing between the magnet (118) and the resonance zone (122), creates a convex (202) or concave (206) resonance zone, and decreases stray fields between the resonance zone (122) and the workpiece (112). For a cylindrical permanent magnet (118), the pole piece (120) includes a disk adjacent the magnet together with an annular cylindrical sidewall (120b) structure axially aligned with the magnet and extending from the base (120a) around the permanent magnet (118). The length of the sidewall portion (120b) of the pole piece (120) is greater than the height of the permanent magnet (118), extending beyond the plane of the magnet face opposite the base (120a). A recurve section (120c) composed of magnetic material having a radial polarity forms convex (202) regions and/or magnetic mirrors (204) within the resonance zone.
(FR)L'invention concerne, dans un dispositif de production de plasma, un champ magnétique optimisé destiné à la génération de plasma par résonance électronique cyclotronique (ECR) grâce à une pièce polaire façonnée (120). La pièce polaire façonnée (120) règle l'espacement entre l'aimant (118) et la zone de résonance (122), crée une zone de résonance convexe (202) ou concave (206) et diminue les champs de dispersion entre la zone de résonance (122) et la pièce (112). Pour un aimant permanent cylindrique (118), la pièce polaire (120) comprend un disque contigu à l'aimant réuni avec une structure à paroi latérale (120b) cylindrique annulaire aligné axialement avec l'aimant et s'étendant à partir de la base (120a) autour de l'aimant permanent (118). La longueur de la partie de paroi latérale (120b) de la pièce polaire (120) est supérieure à la hauteur de l'aimant permanent (118), s'étendant au-delà du plan de la face de l'aimant opposée à la base (120a). Une section incurvée (120c) composée d'une matière magnétique à polarité radiale forme des régions convexes (202) et/ou des miroirs magnétiques (204) à l'intérieur de la zone de résonance.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)