WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1999039414) FLUORINE CONTROL SYSTEM WITH FLUORINE MONITOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/039414    International Application No.:    PCT/US1999/001075
Publication Date: 05.08.1999 International Filing Date: 19.01.1999
Chapter 2 Demand Filed:    06.07.1999    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US) (For All Designated States Except US).
GONG, Mengxiong [CN/US]; (US) (For US Only).
WATSON, Tom, A. [US/US]; (US) (For US Only).
DAS, Palash, P. [US/US]; (US) (For US Only).
SANDSTROM, Richard, L. [US/US]; (US) (For US Only).
DUFFEY, Thomas, P. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GONG, Mengxiong; (US).
WATSON, Tom, A.; (US).
DAS, Palash, P.; (US).
SANDSTROM, Richard, L.; (US).
DUFFEY, Thomas, P.; (US)
Agent: ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Dept. - MS/3-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US)
Priority Data:
09/016,525 30.01.1998 US
09/109,596 02.07.1998 US
09/191,446 12.11.1998 US
Title (EN) FLUORINE CONTROL SYSTEM WITH FLUORINE MONITOR
(FR) SYSTEME DE REGULATION DU FLUOR AVEC DISPOSITIF DE CONTROLE DU FLUOR
Abstract: front page image
(EN)An excimer laser system with a real time fluorine monitor and an automatic fluorine control system to permit precise control of the fluorine concentration within the laser chamber (6). Cleaned laser gas is extracted from the laser chamber (6) and directed through an F¿2? sample cell (48) prior to returning to the chamber (6) through one of the chamber window housings (18, 20). A UV light beam is directed through the F¿2? sample cell (48) and the amount of absorption of the light is measured. In preferred embodiments the absorption is measured by detecting with a photodetector (66) the amount of light which passes through the cell (48). The photodetector (66) provides a feedback signal which is used by a laser controller (27) to automatically control fluorine concentration in the chamber (6) to within desired ranges. In another preferred embodiment an acoustic detector (98) detects acoustic signals resulting from absorbed light pulses.
(FR)Ce système de laser à excimères avec dispositif de contrôle de fluor en temps réel et dispositif automatique de régulation du fluor permet d'agir de façon précise sur la teneur en fluor dans la chambre laser (6). Le gaz laser épuré est extrait de la chambre laser (6) et dirigé vers une cellule à échantillon F¿2? (48) avant d'être renvoyé dans la chambre laser (6) en passant par l'une des enveloppes à fenêtre (18, 20) de ladite chambre. Un faisceau de rayons ultraviolets traverse la cellule à échantillon F¿2? (48) et la quantité de rayons absorbés est mesurée. Dans des modes de réalisation préférés, cette absorption est mesurée par détection, à l'aide d'un photodétecteur (66), de la quantité de rayons traversant la cellule (48). Ce photodétecteur (66) génère un signal de réaction utilisé par l'unité de commande laser (27) pour réguler automatiquement la teneur en fluor dans la chambre (6) et la faire demeurer dans les plages désirées. Dans un autre mode de réalisation préféré, un détecteur acoustique (98) détecte des signaux acoustiques issus des impulsions lumineuses absorbées.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)