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1. (WO1999039245) A PROCESS FOR MAKING A PHOTOACTIVE COMPOUND AND PHOTORESIST THEREFROM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/039245    International Application No.:    PCT/EP1999/000342
Publication Date: 05.08.1999 International Filing Date: 20.01.1999
Chapter 2 Demand Filed:    19.08.1999    
IPC:
G03F 7/022 (2006.01), G03F 7/023 (2006.01)
Applicants: CLARIANT INTERNATIONAL LTD. [CH/CH]; Rothausstrasse 61, CH-4132 Muttenz 1 (CH)
Inventors: OBERLANDER, Joseph, E.; (US)
Agent: HÜTTER, Klaus; Clariant GmbH, Patente, Marken und Lizenzen, Am Unisys-Park 1, D-65843 Sulzbach (DE)
Priority Data:
09/017,446 02.02.1998 US
Title (EN) A PROCESS FOR MAKING A PHOTOACTIVE COMPOUND AND PHOTORESIST THEREFROM
(FR) PROCEDE D'OBTENTION D'UN COMPOSE PHOTOACTIF ET D'UN AGENT PHOTORESISTANT EN DERIVANT
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides for process of preparing a photoactive ester compound of high purity using a solid base catalyst, preferably an anionic exchange resin. The invention further provides for preparing and imaging a photosensitive composition comprising such a photoactive compound, a film-forming resin and a solvent composition.
(FR)L'invention porte sur un procédé d'obtention d'un composé photoactif d'ester de grande pureté à l'aide d'un catalyseur basique solide, de préférence une résine échangeuse anionique. L'invention porte également sur la préparation et la mise en image d'une composition photosensible comprenant ledit composé photoactif, une résine filmogène et une composition de solvant.
Designated States: CN, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)