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1. (WO1999038651) POLISHING APPARATUS AND POLISHING TABLE THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/038651    International Application No.:    PCT/JP1999/000410
Publication Date: 05.08.1999 International Filing Date: 01.02.1999
Chapter 2 Demand Filed:    10.08.1999    
IPC:
B24B 37/015 (2012.01), B24B 49/14 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 144-8510 (JP) (For All Designated States Except US).
KIMURA, Norio [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHII, Yu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KIMURA, Norio; (JP).
ISHII, Yu; (JP)
Agent: WATANABE, Isamu; Gowa Nishi-Shinjuku Building 4F 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome Shinjuku-ku Tokyo 160-0023 (JP)
Priority Data:
10/34348 30.01.1998 JP
Title (EN) POLISHING APPARATUS AND POLISHING TABLE THEREFOR
(FR) APPAREIL ET TABLE DE POLISSAGE
Abstract: front page image
(EN)A polishing apparatus can strictly control the degree of material removal by providing a close control over the operating temperature in the polishing table (12). The polishing apparatus comprises a polishing table (12) and workpiece holder (14) for pressing a workpiece (W) towards the polishing table (12). The polishing table (12) has a polishing section (30) or a polishing tool attachment section at a surface thereof and a thermal medium passage (32) formed along the surface. The thermal medium passage (32) comprises a plurality of temperature adjustement passages provided respectively in a plurality of temperature adjustment regions which are formed by radially dividing a surface area of the polishing table (12).
(FR)L'invention concerne un appareil de polissage qui est en mesure de contrôler avec rigueur le degré d'élimination de matériau en effectuant un contrôle minutieux de la température opérationnelle dans la table (12) de polissage. L'appareil de polissage comprend une table (12) de polissage et un support (14) de pièces permettant de presser une pièce (W) contre la table (12) de polissage. Ladite table (12) présente une section de polissage ou une section (30) de fixation d'outil de polissage au niveau d'une de ses surfaces et un passage (32) pour milieu thermique formé sur la longueur de la surface. Ledit passage (32) comprend une pluralité de passages de réglage de la température se trouvant dans une pluralité de zones de réglage de la température qui sont formées par division radiale d'une zone de surface de la table (12) de polissage.
Designated States: KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)