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1. (WO1999036336) SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE POSITIONING AND DETECTION MECHANISM
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Pub. No.: WO/1999/036336 International Application No.: PCT/US1999/000415
Publication Date: 22.07.1999 International Filing Date: 07.01.1999
Chapter 2 Demand Filed: 11.08.1999
IPC:
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
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for positioning, orientation or alignment
Applicants:
PRI AUTOMATION, INC. [US/US]; 805 Middlesex Turnpike Billerica, MA 01821-3986, US
Inventors:
BAZYDOLA, Kenneth, J.; US
PRICE, Robert, L.; US
Agent:
SCHURGIN, Stanley, M. ; Weingarten, Schurgin, Gagnebin & Hayes LLP Ten Post Office Square Boston, MA 02109, US
Priority Data:
60/071,29916.01.1998US
Title (EN) SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE POSITIONING AND DETECTION MECHANISM
(FR) SYSTEME DE POSITIONNEMENT ET DE DETECTION DE CASSETTE POUR PLAQUETTE DE SEMICONDUCTEUR
Abstract:
(EN) An apparatus for detecting the presence of wafer cassette, or pod, resting on an arrangement of pins allows cassette detection without interfering with insertion of a transport paddle arm. A cassette resides on an arrangement of beveled pins (24) which mate with corresponding receptacles (28) on the underside. Pins supporting the cassette have a spring (26) biased, hollow outer cylinder (20) coaxially mounted around a center post (22). A cassette places on the pins displaces the outer cylinder downward a sufficient distance to trigger a sensor. Upon removal of the cassette, the outer cylinder is displaced upwards, resetting the sensor.
(FR) L'invention concerne un appareil permettant de détecter la présence d'une cassette ou contenant de plaquette, reposant sur un agencement de broches, lequel appareil permet de détecter la cassette sans gêner l'insertion d'un bras de robot à pales sous la cassette de manière à l'extraire en vue du transport. Une cassette se trouve sur un agencement de broches (24) biseautées s'appariant avec les réceptacles (28) correspondants respectifs de la cassette sur le côté inférieur. Les broches supportant la cassette comportent un cylindre (20) extérieur creux, contraint par un ressort (26) et monté coaxialement autour d'un goujon central. Une cassette placée sur les broches déplace le cylindre extérieur vers le bas sur une distance suffisante pour déclencher un détecteur. Lorsqu'on retire la cassette, le cylindre extérieur est déplacé vers le haut, remettant ainsi en place le détecteur.
Designated States: JP
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)