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1. (WO1999014396) METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING A VAPORIZER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/014396    International Application No.:    PCT/US1998/018451
Publication Date: 25.03.1999 International Filing Date: 02.09.1998
Chapter 2 Demand Filed:    07.04.1999    
IPC:
C23C 16/448 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: SCHMITT, John, V.; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
08/928,371 12.09.1997 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING A VAPORIZER
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE CONTROLE D'UN VAPORISATEUR
Abstract: front page image
(EN)In a method and apparatus for producing a vapor which serves as a chemical processing material by delivering a carrier gas and a reactive liquid to a vaporizer in which the vapor is produced, the operating state of the vaporizer is monitored by measuring the pressure of the carrier gas being delivered to the vaporizer and producing a detectable indication when the measured pressure exceeds a given value.
(FR)Dans un procédé et appareil permettant de produire une vapeur servant de matière de traitement chimique en alimentant un vaporisateur, dans lequel la vapeur est produite, avec un gaz porteur et un liquide réactif, on contrôle l'état de fonctionnement du vaporisateur en mesurant la pression du gaz porteur en voie d'acheminement vers le vaporisateur et en produisant une indication décelable lorsque la pression mesurée dépasse une valeur donnée.
Designated States: JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)