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1. (WO1999014394) DEVICE AND METHOD FOR DETECTING AND PREVENTING ARCING IN RF PLASMA SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/014394    International Application No.:    PCT/US1998/018496
Publication Date: 25.03.1999 International Filing Date: 17.09.1998
Chapter 2 Demand Filed:    13.04.1999    
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107 (JP) (For All Designated States Except US).
JOHNSON, Wayne, L. [US/US]; (US) (For US Only).
PARSONS, Richard [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: JOHNSON, Wayne, L.; (US).
PARSONS, Richard; (US)
Agent: MAIER, Gregory, J.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C. 4th floor Crystal Square Five 1755 Jefferson Davis Highway Arlington, VA 22202 (US)
Priority Data:
60/059,173 17.09.1997 US
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR DETECTING AND PREVENTING ARCING IN RF PLASMA SYSTEMS
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE DETECTION ET DE PREVENTION DE FORMATION D'ARC DANS UN SYSTEME A PLASMA HAUTE FREQUENCE
Abstract: front page image
(EN)A system and method for detecting and preventing arcing in plasma processing systems. Arcing is detected and characterized by measuring and analyzing electrical signals from a circuit (22) coupled to the plasma. After characterization, the electrical signals can then be correlated with arcing events occurring during a processing run. Information can be obtained regarding the location, severity, and frequency of arcing events. The system and method better diagnose the causes of arcing and provide improved protection against undesirable arcing, which can cause damage to the system and the workpiece.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de détection et de prévention de formation d'arc dans des systèmes de traitement au plasma. On détecte et on caractérise une formation d'arc en mesurant et en analysant des signaux électriques dans un circuit (22) couplé au plasma. Après la caractérisation, on peut alors mettre en corrélation les signaux électriques avec des cas de formation d'arc lors d'un traitement. On peut obtenir des informations concernant l'emplacement, la gravité et la fréquence des cas de formation d'arc. Le système et le procédé selon l'invention permettent de mieux diagnostiquer les causes de formation d'arc et de fournir une meilleure protection contre une formation d'arc non voulue pouvant endommager le système et la pièce.
Designated States: CN, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)