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1. (WO1999008156) LASER-ILLUMINATED STEPPER OR SCANNER WITH ENERGY SENSOR FEEDBACK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/008156    International Application No.:    PCT/US1998/015974
Publication Date: 18.02.1999 International Filing Date: 31.07.1998
Chapter 2 Demand Filed:    28.01.1999    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/03 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/08 (2006.01), H01S 3/134 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US) (AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CU, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GE, GH, GM, GN, GR, GW, HU, ID, IE, IL, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, NE, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW only).
SANDSTROM, Richard, L. [US/US]; (US) (For US Only).
DAS, Palash, P. [US/US]; (US) (For US Only).
FOMENKOV, Igor V. [RU/US]; (US) (For US Only).
BESAUCELE, Herve, A. [FR/US]; (US) (For US Only).
OZARSKI, Robert, G. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SANDSTROM, Richard, L.; (US).
DAS, Palash, P.; (US).
FOMENKOV, Igor V.; (US).
BESAUCELE, Herve, A.; (US).
OZARSKI, Robert, G.; (US)
Agent: ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Dept., MS/3-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US)
Priority Data:
08/908,862 08.08.1997 US
09/034,870 04.03.1998 US
09/081,374 19.05.1998 US
Title (EN) LASER-ILLUMINATED STEPPER OR SCANNER WITH ENERGY SENSOR FEEDBACK
(FR) MOTEUR PAS-A-PAS OU SCANNER ECLAIRE PAR LASER, A ASSERVISSEMENT DU CAPTEUR D'ENERGIE
Abstract: front page image
(EN)A laser-illuminated wafer-exposing system such as a stepper (20) or scanner having a first light intensity detector (44) located within the exposing system near a mask (36) and second light intensity detector (46) located near the output of the laser (12). A feedback control system (14) controls the output of the laser based on signals detected by at least one of the detectors. The feedback control system includes a processor programmed with an algorithm which is used to control the laser discharge voltage in order to provide light pulses having desired intensity at the mask with the laser operating in a burst mode. The algorithm utilizes at least the following parameters; a previously measured pulse energy, a calculated energy error, a calculated dose error, a value for the rate of change of pulse energy with voltage, and at least one reference voltage. In a preferred embodiment the algorithm uses the pulse energy measured with the light intensity detector located near the mark to provide the feedback control and uses the light intensity detector at the output of the laser to assure that the output of the laser is maintained within a predetermined range.
(FR)Système d'exposition de plaquettes, éclairé par laser, comme un moteur pas-à-pas ou un scanner, comprenant un premier détecteur (44) d'intensité lumineuse situé dans le système d'exposition, à proximité d'un masque (36), et un deuxième détecteur (46) d'intensité lumineuse situé à proximité de la sortie du laser (12). Un système asservi (14) commande la sortie du laser en fonction des signaux détectés par au moins un des détecteurs. Ledit système asservi comprend un processeur programmé à l'aide d'un algorithme qui est utilisé pour la commande de la tension de décharge du laser de sorte que des impulsions lumineuses ayant l'intensité voulue au niveau du masque soient produites, le laser fonctionnant en mode rafale. L'algorithme utilise au moins les paramètres suivants: une énergie pulsée mesurée préalablement, une erreur d'énergie calculé, une erreur de dose calculée, une valeur pour la vitesse de changement d'énergie pulsée selon la tension et au moins une tension de référence. Dans le mode de réalisation préféré, l'algorithme utilise l'énergie pulsée mesurée à l'aide du détecteur d'intensité lumineuse situé à proximité du marqueur, pour permettre l'asservissement et utilise le détecteur d'intensité lumineuse situé au niveau de la sortie du laser pour que la sortie du laser soit maintenue dans une plage prédéterminée.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)