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1. (WO1999008134) ULTRA-BROADBAND UV MICROSCOPE IMAGING SYSTEM WITH WIDE RANGE ZOOM CAPABILITY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/008134    International Application No.:    PCT/US1998/016568
Publication Date: 18.02.1999 International Filing Date: 07.08.1998
Chapter 2 Demand Filed:    01.03.1999    
IPC:
G02B 21/16 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR, INC. [US/US]; 160 Rio Robles San Jose, CA 95161-1809 (US)
Inventors: SHAFER, David, Ross; (US).
CHUANG, Yung-Ho; (US).
TSAI, Bin-Ming, Benjamin; (US)
Agent: FERRELL, John, S.; Carr & Ferrell LLP Suite 200 2225 East Bayshore Road Palo Alto, CA 94303 (US)
Priority Data:
08/908,247 07.08.1997 US
Title (EN) ULTRA-BROADBAND UV MICROSCOPE IMAGING SYSTEM WITH WIDE RANGE ZOOM CAPABILITY
(FR) SYSTEME D'IMAGERIE COMPRENANT UN MICROSCOPE A U.V. A TRES GRANDE LARGEUR DE BANDE ET A EFFET DE ZOOM A GRANDE PORTEE
Abstract: front page image
(EN)An ultra-broadband ultraviolet (UV) catadioptric imaging microscope system with wide-range capability. The microscope system, which comprises a catadioptric lens group (128) and a zooming tube lens group (139), has high optical resolution in the deep UV wavelengths, continuously adjustable magnification, and a high numerical aperture. The system integrates microscope modules such as objectives, tube lenses and zoom optics to reduce the number of components, and to simplify the system manufacturing process. The preferred embodiment offers excellent image quality across a very broad deep ultraviolet spectral range, combined with an all-refractive zooming tube lens. The zooming tube lens is modified to compensate for higher-order chromatic aberrations that would normally limit performance.
(FR)Ce système de microscope d'imagerie catadioptrique, à ultraviolets (U.V.) et à très grande largeur de bande, est doté d'un effet de zoom à grande portée, il comprend un groupe de lentilles catadioptriques ainsi qu'un groupe de lentilles de tube zoom, et il possède une résolution optique élevée dans les longueurs d'ondes U.V. courtes, un grossissement réglable en continu ainsi qu'une ouverture numérique élevée. Ce système comporte des modules de microscope, tels que des objectifs, des lentilles de tube et des optiques à effet de zoom, ce qui permet de réduire le nombre de composants et de simplifier le procédé de fabrication du système. Le mode de réalisation préféré de l'invention offre excellente qualité d'image sur une gamme spectrale très large d'ultraviolets à courte longueur d'onde, grâce à la combinaison d'une lentille de tube zoom à matériau totalement réfléchissant. On a modifié la lentille du tube zoom pour compenser les aberrations chromatiques d'ordre élevé, lesquelles limitent normalement les performances de ce type de système.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)