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1. (WO1999007516) A CARRIER HEAD WITH LOCAL PRESSURE CONTROL FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/007516    International Application No.:    PCT/US1998/016342
Publication Date: 18.02.1999 International Filing Date: 05.08.1998
Chapter 2 Demand Filed:    05.03.1999    
IPC:
B24B 37/30 (2012.01), B24B 37/32 (2012.01), B24B 49/16 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: ZUNIGA, Steven, M.; (US).
CHEN, Hung, Chih; (US).
BIRANG, Manoocher; (US).
WIJEKOON, Kapila; (US).
KO, Sen-Hou; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
08/907,810 08.08.1997 US
Title (EN) A CARRIER HEAD WITH LOCAL PRESSURE CONTROL FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS
(FR) TETE DE POLISSAGE COMPORTANT UNE COMMANDE DE PRESSION LOCALISEE POUR DISPOSITIF DE POLISSAGE CHIMIOMECANIQUE
Abstract: front page image
(EN)A carrier head for a chemical mechanical polishing apparatus includes a flexible membrane, the lower surface of which provides a substrate-receiving surface. The carrier head may include a projection which contacts an upper surface of the flexible membrane to apply an increased load to a potentially underpolished region of a substrate. Fluid jets may be used for the same purpose.
(FR)Tête de polissage conçue pour un dispositif de polissage chimiomécanique et comprenant une membrane souple dont la surface inférieure constitue une surface servant à recevoir le substrat. Cette tête de polissage peut comporter une saillie venant en contact avec une surface supérieure de la membrane souple afin d'appliquer une charge augmentée à une zone du substrat potentiellement soumise à un niveau inférieur de polissage. On peut mettre en application des jets de liquide dans le même but.
Designated States: JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)