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1. (WO1999005510) METHOD AND APPARATUS FOR PARAMETER DIFFERENCE IMAGING OF A SAMPLE SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/005510    International Application No.:    PCT/US1998/015384
Publication Date: 04.02.1999 International Filing Date: 28.07.1998
Chapter 2 Demand Filed:    04.02.1999    
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G01N 21/00 (2006.01), G01N 21/17 (2006.01), G01N 21/25 (2006.01), G01N 21/55 (2006.01), G03B 27/42 (2006.01), G06K 9/68 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01)
Applicants: MMR TECHNOLOGIES [US/US]; 1400 N. Shoreline Boulevard #A-5 Mountain View, CA 94043 (US)
Inventors: HOLCOMB, Matthew, J.; (US)
Agent: McFARLANE, Thomas, J.; 426 Lowell Avenue Palo Alto, CA 94301 (US)
Priority Data:
08/900,156 28.07.1997 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PARAMETER DIFFERENCE IMAGING OF A SAMPLE SURFACE
(FR) PROCEDE ET APPAREIL D'IMAGERIE DIFFERENTIELLE DES PARAMETRES D'UNE SURFACE D'ECHANTILLON
Abstract: front page image
(EN)A differential imaging technique is performed by the following steps: (i) illuminating the sample (8) surface with uniform, monochromatic light (2) and capturing a first image of the reflected light with a CCD camera (15), (ii) uniformly and precisely changing a physical parameter of the sample (8), (iii) repeating step (i) to capture a second image influenced by the new value of the physical parameter, (iv) subtracting the first and second images and dividing the result by the average of the images to produce a normalized difference image. The physical parameter may be temperature, electric field, light exposure, magnetic fields, or mechanical stress. The image produced is of the differential reflectance of the sample (8) surface at a given wavelength. Differential reflectance is equal to the change in reflectance due to the parameter change divided by the average reflectance.
(FR)Une technique d'imagerie différentielle comprend les étapes suivantes: (i) on éclaire la surface de l'échantillon (8) avec de la lumière monochromatique (2) uniforme et on capte une première image de la lumière réfléchie, avec une caméra à dispositif de couplage de charge (15), (ii) on fait varier de manière uniforme et précise un paramètre physique de l'échantillon (8), (iii) on répète l'étape (i) pour saisir une deuxième image influencée par la nouvelle valeur du paramètre physique, (iv) on soustrait les premières et deuxièmes images et on divise le résultat par la moyenne des images, pour produire une image différentielle normalisée. Le paramètre physique peut être la température, un champ électrique, l'exposition lumineuse, un champ magnétique ou une contrainte mécanique. L'image produite est celle de la réflectance différentielle de la surface de l'échantillon (8) à une longueur d'onde donnée. La réflectance différentielle est égale à la variation de la réflectance due à la variation du paramètre, divisée par la réflectance moyenne.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)