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1. (WO1998053331) PROBE HEAD ASSEMBLY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1998/053331 International Application No.: PCT/US1997/023797
Publication Date: 26.11.1998 International Filing Date: 22.12.1997
Chapter 2 Demand Filed: 12.08.1998
IPC:
G01R 1/073 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1
Details of instruments or arrangements of the types covered by groups G01R5/-G01R13/122
02
General constructional details
06
Measuring leads; Measuring probes
067
Measuring probes
073
Multiple probes
Applicants:
SI DIAMOND TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 12100-A Technology Boulevard Austin, TX 78727, US
Inventors:
KUMAR, Nalin; US
YANIV, Zvi; US
Agent:
KORDZIK, Kelly, K. ; Winstead Sechrest & Minick P.C. Suite 5400 1201 Elm Street Dallas, TX 75270-2199, US
Priority Data:
08/858,10719.05.1997US
Title (EN) PROBE HEAD ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE TETE DE SONDE
Abstract:
(EN) An apparatus for testing semiconductor devices including probe tips (122) for contacting input/output pads (102) on the device attached to a probe membrane (120) fixed to a package using a layer of elastomeric material (113). The elastomeric material and use of compliant bump probe tips (122) effect a global planarization for improved electrical contact between the probe assembly and the input/output contacts (102) on the device under test.
(FR) L'invention a trait à un appareil servant à éprouver des dispositifs à semi-conducteurs, lequel appareil est pourvu de pointes de sonde (122), entrant en contact avec des plages de connexion d'entrée/sortie (102) d'un dispositif en cours d'épreuve, attachées à une membrane de sonde (120) contenue dans un boîtier muni d'une couche de matériau élastomère (113). L'utilisation de ce matériau élastomère et de pointes de sondes (122) à bosse auto-adaptative procure une planéité globale aux fins d'un meilleur contact électrique entre l'ensemble sonde et les contacts d'entrée/sortie (102) se trouvant sur le dispositif en cours d'épreuve.
Designated States: CA, CN, JP, KR
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)