Search International and National Patent Collections
Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persists, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO1998052214) MAGNETICALLY-LEVITATED ROTOR SYSTEM FOR AN RTP CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1998/052214 International Application No.: PCT/US1998/009762
Publication Date: 19.11.1998 International Filing Date: 12.05.1998
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
683
for supporting or gripping
687
using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95052, US
Inventors:
TIETZ, James, V.; US
BIERMAN, Benjamin; US
Agent:
GOREN, David, J.; Applied Materials, Inc. P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052, US
Priority Data:
08/879,49716.05.1997US
Title (EN) MAGNETICALLY-LEVITATED ROTOR SYSTEM FOR AN RTP CHAMBER
(FR) SYSTEME DE ROTOR A LEVITATION MAGNETIQUE POUR UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Abstract:
(EN) Accommodations for a magnetically levitated rotating system in an RTP chamber are provided. The system includes a magnetically permeable rotor; a cylindrical thin wall concentric with and surrounding the rotor; and a magnetic stator assembly adjacent the cylindrical thin wall. The radial distance between the rotor and the magnetic stator assembly is small enough that a magnetic field created by the stator assembly magnetically levitates the rotor but is great enough that the rotor does not physically contact the thin wall upon thermal expansion. The system is such that the relative positions of a plurality of sensors which determine the position of a rotating frame is maintained upon dismantling. Thermal isolation of the area including the rotor is accomplished from the reactive gases in a processing area of the RTP chamber. The rotor may be cooled by a number of cooling chambers formed within the chamber.
(FR) L'invention concerne des installations pour un système de rotation à lévitation magnétique dans une chambre de traitement thermique rapide. Le système comprend un rotor à perméabilité magnétique; une paroi cylindrique mince ayant le même centre que le rotor et l'entourant; et un ensemble de stator magnétique contigu à la paroi cylindrique mince. La distance radiale entre le rotor et l'ensemble de stator magnétique est assez réduite pour qu'un champ magnétique créé par l'ensemble de stator entraîne une lévitation magnétique du rotor, mais cette distance est assez grande pour que le rotor n'entre pas en contact physique avec la paroi mince par expansion thermique. Le système est tel que les positions relatives de plusieurs détecteurs qui déterminent la position d'un cadre rotatif sont maintenues après démontage. La zone comprenant le rotor est thermiquement isolée des gaz réactifs dans une zone de traitement de la chambre de traitement thermique rapide. Le rotor peut être refroidi par plusieurs chambres de refroidissement formées à l'intérieur de la chambre.
Designated States: JP, KR
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
KR1020000023849EP0917731EP1744356JP4709335 JP2000515331