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1. (WO1998052019) ELLIPSOMETER WITH TWO LASERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1998/052019 International Application No.: PCT/NL1998/000258
Publication Date: 19.11.1998 International Filing Date: 08.05.1998
Chapter 2 Demand Filed: 08.12.1998
IPC:
G01N 21/21 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
21
Polarisation-affecting properties
Applicants:
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Postbus 5 NL-2600 AA Delft, NL (AllExceptUS)
HEMMES, Klaas [NL/NL]; NL (UsOnly)
KOOPS, Karl, Richard [NL/NL]; NL (UsOnly)
Inventors:
HEMMES, Klaas; NL
KOOPS, Karl, Richard; NL
Agent:
DE BRUIJN, Leendert, C.; Nederlandsch Octrooibureau Scheveningseweg 82 P.O. Box 29720 NL-2502 LS The Hague, NL
Priority Data:
100601609.05.1997NL
Title (EN) ELLIPSOMETER WITH TWO LASERS
(FR) ELLIPSOMETRE EQUIPE DE DEUX LASERS
Abstract:
(EN) Ellipsometer having light source means which provide a first light beam (g1) having a first angular frequency ($g(v)1) and a second light beam (g2) having a second angular frequency ($g(v)2), a neutral beam splitter (N) having a front face for receiving a measuring beam (g'm2), which during operation is produced by scanning a sample (S;OD1;OD2) with the second light beam (g2), and a rear face for receiving the first light beam (g1), wherein, during operation, an interference beam is formed at the rear face, wherein the light source means comprise two separate laser sources (L1, L2) and the ellipsometer is provided with a control circuit (C) having at least one input for receiving information with regard to the first and second angular frequencies ($g(v)2, $g(v)1) or the difference between the two and at least one output, coupled to at least one of the two laser sources, for controlling the difference between the first and second angular frequencies ($g(v)2, $g(v)1).
(FR) On décrit un ellipsomètre muni de moyens d'éclairage qui produisent un premier faisceau lumineux (g1) ayant une première fréquence angulaire ($g(v)1) et un deuxième faisceau lumineux (g2) ayant une deuxième fréquence angulaire ($g(v)2), un séparateur de faisceau neutre (N) comportant une face d'attaque pour recevoir un faisceau de mesure (g'm2) qui, pendant le fonctionnement, est produit par balayage d'un échantillon (S;OD1;OD2) au moyen du deuxième faisceau lumineux (g2), et une face arrière pour recevoir le premier faisceau lumineux (g1). Un faisceau d'interférence est formé sur la face arrière pendant le fonctionnement, et les moyens d'éclairage comprennent deux sources laser (L1, L2). L'ellipsomètre est équipé d'un circuit de commande (C) présentant au moins une entrée pour recevoir des informations concernant la première et la deuxième fréquences angulaires ($g(v)1, $g(v)2) ou la différence entre elles, et au moins une sortie couplée à au moins une ou deux sources laser pour réguler la différence entre la première et la deuxième fréquences angulaires ($g(v)1, $g(v)2).
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: Dutch (NL)
Also published as:
KR1020010012423EP0980519US6373871JP2001527681 CN1261958CA2288673
DE000069807683AU1998075535ID024.194