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1. (WO1998033039) ELECTRO-OPTICAL MEASURING DEVICE FOR DETERMINING THE RELATIVE POSITION OF TWO BODIES, OR OF TWO SURFACE AREAS OF BODIES, IN RELATION TO EACH OTHER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/033039    International Application No.:    PCT/EP1997/000274
Publication Date: 30.07.1998 International Filing Date: 22.01.1997
IPC:
G01B 11/27 (2006.01)
Applicants: PRÜFTECHNIK DIETER BUSCH AG [DE/DE]; Oskar-Messter-Strasse 19-21, D-85737 Ismaning (DE) (For All Designated States Except US).
LYSEN, Heinrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ASCHENBRENNER, Kai [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LETZE, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: LYSEN, Heinrich; (DE).
ASCHENBRENNER, Kai; (DE).
LETZE, Thomas; (DE)
Common
Representative:
PRÜFTECHNIK DIETER BUSCH AG; Oskar-Messter-Strasse 19-21, D-85737 Ismaning (DE)
Priority Data:
Title (DE) ELEKTROOPTISCHES MESSGERÄT ZUM FESTSTELLEN DER RELATIVLAGE, DIE ZWEI KÖRPER ODER ZWEI OBERFLÄCHENBEREICHE VON KÖRPERN IM BEZUG AUFEINANDER EINNEHMEN
(EN) ELECTRO-OPTICAL MEASURING DEVICE FOR DETERMINING THE RELATIVE POSITION OF TWO BODIES, OR OF TWO SURFACE AREAS OF BODIES, IN RELATION TO EACH OTHER
(FR) DISPOSITIF DE MESURE ELECTRO-OPTIQUE PERMETTANT DE DETERMINER LA POSITION RELATIVE DE DEUX CORPS L'UN PAR RAPPORT A L'AUTRE OU DE DEUX SURFACES DE CORPS L'UNE PAR RAPPORT A L'AUTRE
Abstract: front page image
(DE)Es wird ein elektrooptisches Meßgerät zum Feststellen der Relativlage zweier Körper (2, 3) oder Oberflächenbereiche von Körpern vorgeschlagen, das in bekannter Weise einen an dem einen Körper (3) oder Oberflächenbereich anbringbaren, einen gebündelten Lichtstrahl (L) aussendenden Lichtstrahlsender (4) und einen ein- oder mehrachsigen optoelektronischen Positionsdetektor mit lichtempfindlicher Meßfläche (5) aufweist. Bei der Vermessung der Körper (2, 3) oder Oberflächenbereiche trifft der Lichtstrahl (L) auf die Meßfläche (5) auf, und sein Auftreffpunkt (LA) bewegt sich bei der Durchführung einer Meßbewegung in einer für die aktuelle gegenseitige Ausrichtung der Körper (2, 3) oder Oberflächenbereiche charakteristischen Weise über die lichtempfindliche Fläche (5). Wenn die gegenseitige Ausrichtung erheblich von einer erwünschten Sollage abweicht, kann es bei den bekannten Meßgeräten dieser Art vorkommen, daß der Lichtstrahlauftreffpunkt (LA) ohne korrigierende Gegenmaßnahme die Meßfläche (5) im weiteren Verlaufe der Meßbewegung verlassen würde. Dies wird gemäß der Erfindung durch eine Einrichtung verhindert, die unter Überwachung der Meßbewegung eine Meßbereichserweiterung durchführt.
(EN)The invention relates to an electro-optical measuring device for determining the relative position of two bodies (2, 3) or of surfaces areas of bodies, to each other comprising, in a known manner, a light-beam emitter (4) emitting a focused light beam (L) which can be applied to the one body (3) or surface area, and an opto-electronic position detector having one or several axes and fitted with a light-sensitive measuring surface (5). When the bodies (2, 3) or surface areas are being measured, the light beam (L) impinges on the measuring surface (5) and its point of impingement (LA), in carrying out a measuring movement, moves across the light-sensitive surface (5) in a manner characteristic of the current position the bodies (2, 3) or surface areas have in relation to each other. When the bodies' relative position to each other deviates substantially from a desired target position, it can happen with known measuring devices of this type that, without corrective measures, the point of impingement (LA) of the light beam leaves the measuring surface (5) as the measuring movement continues. According to the invention, this is prevented by means of a device which monitors the measuring movement and enlarges the field of measurement.
(FR)Appareil de mesure électro-optique destiné à déterminer la position relative de deux corps (2, 3) ou de deux surfaces de corps, qui possède, de manière classique, un émetteur (4) de rayons lumineux (L) en faisceau destiné à être placé sur un corps (3) ou sur une surface de corps, et un détecteur de position opto-électronique à un ou plusieurs axes doté d'une surface de mesure (5) sensible à la lumière. Lors de la mesure des corps (2, 3) ou des surfaces de corps, le faisceau lumineux (L) est incident sur la surface de mesure (5) et son point d'incidence (LA) se déplace sur la surface (5) sensible à la lumière, lorsque s'effectue un mouvement de mesure, d'une manière qui est caractéristique de l'orientation réciproque actuelle des corps (2, 3) ou des surfaces de corps. Lorsque l'orientation réciproque s'écarte considérablement d'une position idéale souhaitée, il peut arriver avec les appareils de mesure classiques de ce type que le point d'incidence (LA) du faisceau lumineux quitte la surface de mesure (5) lorsque le mouvement de mesure se poursuit, sans qu'aucune mesure de correction ne soit prise. Selon la présente invention, on remédie à cela à l'aide d'un dispositif qui surveille le mouvement de mesure et opère un agrandissement du champ de mesure.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)