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1. (WO1998032173) CORROSION RESISTANT IMAGER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/1998/032173 International Application No.: PCT/US1998/000407
Publication Date: 23.07.1998 International Filing Date: 12.01.1998
IPC:
H01L 27/146 (2006.01)
Applicants: GENERAL ELECTRIC COMPANY[US/US]; 1 River Road Schenectady, NY 12345, US
Inventors: LIU, Jianqiang; US
WEI, Ching-Yeu; US
KWASNICK, Robert, Forrest; US
Agent: STECKLER, Henry, I.; General Electric Company 3135 Easton Turnpike W3C Fairfield, CT 06431, US
Priority Data:
60/036,09017.01.1997US
Title (EN) CORROSION RESISTANT IMAGER
(FR) DISPOSITIF D'IMAGERIE RESISTANT A LA CORROSION
Abstract: front page image
(EN) A radiation imager is disclosed that is resistant to degradation due to moisture by either contact pad corrosion, guard ring corrosion or by photodiode leakage. A contact pad of a large area imager is disclosed that is formed into three distinct and electrically connected regions. The resulting structure of the contact pad regions forms reliable contact that is resistant to corrosion damage. The photosensitive element has a multitier passivation layer disposed between the top contact layer and an amorphous silicon photosensor island except for a selected contact area on the top surface of the photosensor island where the top contact layer is in electrical contact with the amorphous silicon material of the photosensor island. The passivation layer includes a first tier inorganic barrier layer which is disposed at least over the sidewalls of the photosensor island.
(FR) Cette invention concerne un dispositif d'imagerie par radiations capable de résister aux dégradations dues à l'humidité qui est issue de la corrosion d'une plage de contact, de la corrosion d'un anneau de garde, ou de la fuite d'une photodiode. Cette invention concerne plus précisément un dispositif d'imagerie d'une grande surface qui comprend une plage de contact se présentant sous forme de trois zones distinctes et connectées électriquement. La structure ainsi formée par les zones de la plage de contact permet d'obtenir un contact fiable capable de résister aux dommages causés par la corrosion. L'élément photosensible possède une couche de passivation en plusieurs parties qui est disposée entre la couche de contact supérieure et un îlot de photodétection à base de silicium amorphe, ceci à l'exception d'une zone de contact prédéterminée sur la surface supérieure de l'îlot de photodétection. A cet endroit, la couche de contact supérieure se trouve en contact électrique avec le matériau à base de silicium amorphe dont est fait l'îlot de photodétection. La couche de passivation comprend une couche de barrage inorganique formant la première partie, laquelle couche est disposée sur les parois latérales au moins de l'îlot de photodétection.
Designated States: JP
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)