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1. (WO1998031038) PLASMA GENERATION AND PLASMA PROCESSING OF MATERIALS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/031038    International Application No.:    PCT/US1998/000003
Publication Date: 16.07.1998 International Filing Date: 06.01.1998
IPC:
H05H 1/44 (2006.01)
Applicants: TRUSI TECHNOLOGIES, LLC [US/US]; 657 North Pastoria Avenue Sunnyvale, CA 94086 (US)
Inventors: SINIAGUINE, Oleg; (US)
Agent: SHENKER, Michael; Skjerven, Morrill, MacPherson, Franklin & Friel, LLP Suite 700 25 Metro Drive San Jose, CA 95110 (US)
Priority Data:
08/781,568 09.01.1997 US
Title (EN) PLASMA GENERATION AND PLASMA PROCESSING OF MATERIALS
(FR) PRODUCTION DE PLASMA ET TRAITEMENT DE MATERIAUX AU PLASMA
Abstract: front page image
(EN)A plasma generation system includes one or more pairs of electrode units (1-1, 1-2). Each electrode unit emits a plasma carrying gas along a respective axis (8). Each pair of electrode units is connected to an electric power supply (11) that creates an electric discharge through the gas jets (23-1, 23-2) emitted by the two units. The axes of the two units define a 'basic' plane (10). Each unit is associated with a magnetic circuit (12) having two poles (14) on the opposite sides of the basic plane. Each of these circuits is used to move the plasma gas jet (23-1 or 23-2) emitted by the respective unit towards or away from the plasma jet (23) emitted by the other unit of the pair of units. Therefore, these circuits (12) control the angle at which the plasma jets meet. In addition, for each pair of the electrode units, a three-pole magnetic circuit (13) is provided to move the plasma jets (23) perpendicularly to the basic plane (10). The three poles (16-1, 18, 16-2) of the magnetic circuit extend substantially along the basic plane. The three poles include a 'first' pole (16-1), a 'second' pole (16-2), and 'middle' pole (18) between the first and second poles. One of the plasma jets is controlled by the magnetic field (B13-1) passing through the first and middle poles, and the other plasma jet is controlled by the magnetic field (B13-2) passing through the second and middle poles.
(FR)Ce système de production de plasma comprend une ou plusieurs paires d'unités d'électrode (1-1, 1-2). Chaque unité d'électrode émet un plasma porteur de gaz le long d'un axe correspondant (8). Chaque paire d'unités d'électrode est connecté à une alimentation en énergie électrique (11), laquelle crée une décharge électrique à travers les jets de gaz (23-1, 23-2) émis par les deux unités. Les axes des deux unités délimitent un plan 'de base' (10). Chaque unité est associée à un circuit magnétique (12) présentant deux pôles (14) situés sur les côtés opposés de ce plan. On utilise chacun de ces circuits pour déplacer le jet de gaz plasma (23-1 ou 23-2) émis par l'unité correspondante, en dirigeant ce jet sur le jet de plasma (23) émis par l'autre unité de la paire d'unités, ou en l'éloignant de ce dernier. Ainsi, ces circuits (12) commandent l'angle auquel les jets de plasma se rencontrent. En outre, pour chaque paire des unités d'électrode, on utilise un circuit magnétique à trois pôles (13), afin de déplacer les jets de plasma (23) et que ceux-ci soient perpendiculaires au plan de base (10). Les trois pôles (16-1, 18, 16-2) du circuit magnétique s'étendent sensiblement le long du plan de base, et ils comprennent un premier pôle (16-1), un second pôle (16-2) et un pôle médian (18) situé entre le premier et le second pôle. L'un des jets de plasma est commandé par le champ magnétique (B13-1) passant à travers le premier pôle et le pôle médian, et l'autre jet de plasma est commandé par le champ magnétique (B13-2) passant à travers le second pôle et le pôle médian.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)