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1. (WO1998029900) PATTERNING CHEMICAL LIQUID CENTRALIZED CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/029900    International Application No.:    PCT/JP1997/004718
Publication Date: 09.07.1998 International Filing Date: 19.12.1997
Chapter 2 Demand Filed:    28.04.1998    
IPC:
G03F 7/30 (2006.01)
Applicants: NIPPON ZEON CO., LTD. [JP/JP]; 6-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100 (JP) (For All Designated States Except US).
ISHIURA, Yoshio [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANAKA, Kimiaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KANAUCHI, Masanobu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: ISHIURA, Yoshio; (JP).
TANAKA, Kimiaki; (JP).
KANAUCHI, Masanobu; (JP)
Agent: MAEDA, Hitoshi; Maeda & Nishide, Hokushin Building 2F, 22, Kanda Jinbou-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101 (JP)
Priority Data:
8/356103 25.12.1996 JP
Title (EN) PATTERNING CHEMICAL LIQUID CENTRALIZED CONTROLLER
(FR) UNITE DE COMMANDE CENTRALISEE DE LIQUIDE CHIMIQUE D'IMPRESSION DE MOTIFS
Abstract: front page image
(EN)A centralized controller has a 1st tank (12) in which all used developer which is sent from a plurality of development chambers (7) is collected and temporarily stored, a 2nd tank (22) into which a part of the developer stored in the 1st tank (12) is sent, a 3rd tank (68) into which a part of the developer stored in the 2nd tank (22) is sent, a pH measuring means (26) which measures the pH value of the developer stored in the 2nd tank (22), a concentration measuring means (26) which measures the concentration of resin contained in the developer stored in the 2nd tank (22), control valves (50 and 52) which control the quantities of unused developer and pure water which are supplied to the 2nd tank (22), and a control valve (42) which feeds a part of the developer stored in the 2nd tank (22) into the 3rd tank (68) only when the quality of the developer stored in the 2nd tank (22) is within a certain range. The chemical liquid for patterning is controlled in a centralized way, the recyclable chemical liquid can be recycled as much as possible and, further, the chemical liquid having a constant quality can be automatically supplied to a plurality of treatment chambers.
(FR)Unité de commande centralisée comportant un premier réservoir (12) servant à recueillir et à conserver temporairement la totalité du développeur usé provenant d'une pluralité de chambres de développement (7), un deuxième réservoir (22) dans lequel est introduite une partie du développeur conservé dans le premier réservoir (12), un troisième réservoir (68) dans lequel est introduite une partie du développeur conservé dans le deuxième réservoir (22), des moyens (26) servant à mesurer la valeur du pH du développeur conservé dans le deuxième réservoir (22), des moyens (26) servant à mesurer la concentration de la résine contenue dans le développeur conservé dans le deuxième réservoir (22), des soupapes de régulation (50) (52) régulant les quantités de développeur utilisable et d'eau pure alimentant le deuxième réservoir (22), ainsi qu'une soupape de régulation (42) n'alimentant le troisième réservoir (68) en une partie du développeur conservé dans le deuxième réservoir (22) que lorsque la qualité du développeur conservé dans le deuxième réservoir (22) se trouve à l'intérieur de certaines limites. Ceci permet de commander de façon centralisée le liquide chimique d'impression de motifs, de recycler, dans la mesure du possible, le liquide chimique recyclable et, de plus, d'alimenter automatiquement une pluralité de chambres de traitement en liquide chimique présentant une qualité constante.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)