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1. (WO1998028776) PARTICLE-OPTICAL APPARATUS INCLUDING A LOW-TEMPERATURE SPECIMEN HOLDER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/1998/028776 International Application No.: PCT/IB1997/001539
Publication Date: 02.07.1998 International Filing Date: 08.12.1997
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
20
Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.[NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL - 5621 BA Eindhoven, NL
PHILIPS NORDEN AB[SE/SE]; Kottbygatan 7 Kista S-164 85 Stockholm, SE (SE)
Inventors: BORMANS, Bernardus, Jacobus, Marie; NL
DE JONG, Alan, Frank; NL
VAN DER MAST, Karel, Diederick; NL
WAGNER, Raymond; NL
ASSELBERGS, Peter, Emile, Stephan, Joseph; NL
Agent: BAKKER, Hendrik; Internationaal Octrooibureau B.V. P.O. Box 220 NL-5600 AE Eindhoven, NL
Priority Data:
96203667.923.12.1996EP
Title (EN) PARTICLE-OPTICAL APPARATUS INCLUDING A LOW-TEMPERATURE SPECIMEN HOLDER
(FR) APPAREIL OPTO-ELECTRONIQUE COMPORTANT UN PORTE-ECHANTILLON A BASSE TEMPERATURE
Abstract:
(EN) In an electron microscope it is sometimes important that specimens can be studied at a very low temperature (for example, that of liquid helium). In the case of known specimen holders the specimen is cooled by supplying the cooling medium via a bore in the specimen holder; this causes thermal drift of the removed specimen holder each time when a specimen is exchanged, and also an acoustic coupling (i.e. transfer of vibrations) exists with the dewar vessel connected to the specimen holder. In accordance with the invention, the specimen is arranged on the end (20) of the specimen holder (7) by means of a separate transport unit (13, 36) so that it is not necessary to remove the specimen holder (7) in order to exchange a specimen, with the result that the specimen holder is not heated. Moreover, the coupling to the cold source (22, 28) can take place via a flexible cooling conduit (30) which extends directly to the end (20) to be cooled and may be permanently connected thereto, thus avoiding the transfer of vibrations.
(FR) Dans un microscope électronique, il est parfois important que les échantillons puissent être étudiés à très basse température (par exemple celle de l'hélium liquide). Dans le cas des porte-échantillons habituels, l'échantillon est refroidi grâce à un agent de refroidissement diffusé dans un alésage du porte-échantillon; cette diffusion provoque une dérive thermique dudit porte-échantillon lorsqu'on déplace ce dernier à chaque remplacement d'échantillon, et permet un couplage acoustique (c'est-à-dire un transfert de vibrations) se produisant également entre ledit porte-échantillon et le vase de Dewar, qui sont reliés l'un à l'autre. Conformément à l'invention, l'échantillon est placé sur l'extrémité (20) du porte-échantillon (7) au moyen d'une unité de manipulation indépendante (13, 36), de sorte qu'il n'est pas nécessaire de déplacer ledit porte-échantillon (7) pour remplacer un échantillon, ce qui permet en outre d'éviter que ledit porte-échantillon ne chauffe. De plus, le couplage à la source de froid (22, 28) peut s'effectuer par l'intermédiaire d'un conduit de refroidissement flexible (30), qui s'étend directement vers ladite extrémité (20) pour être refroidi, ce conduit et cette extrémité pouvant être reliés de façon permanente, ce qui permet d'éviter le transfert de vibrations.
Designated States: JP
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)