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1. (WO1998028606) IN-SITU MONITORING OF ELECTRICAL PROPERTIES BY ELLIPSOMETRY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/028606    International Application No.:    PCT/GB1997/003367
Publication Date: 02.07.1998 International Filing Date: 18.12.1997
Chapter 2 Demand Filed:    15.07.1998    
IPC:
G01N 21/21 (2006.01)
Applicants: THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE [GB/GB]; Defence Evaluation & Research Agency, Ively Road, Farnborough, Hampshire GU14 0LX (GB) (For All Designated States Except US).
PICKERING, Christopher [GB/GB]; (GB) (For US Only).
CARLINE, Roger, Timothy [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: PICKERING, Christopher; (GB).
CARLINE, Roger, Timothy; (GB)
Agent: SKELTON, Stephen, Richard; D/IPR Formalities Section, MoD Abbey Wood #19, Bristol BS34 8JH (GB)
Priority Data:
9626765.3 23.12.1996 GB
Title (EN) IN-SITU MONITORING OF ELECTRICAL PROPERTIES BY ELLIPSOMETRY
(FR) CONTROLE IN SITU DES PROPRIETES ELECTRIQUES PAR ELLIPSOMETRIE
Abstract: front page image
(EN)A method of monitoring material parameters of a sample (4) (for example electrical properties of a semiconductor) during processing (for example during manufacture) which uses ellipsometric techniques to study the changes induced in the ellipsometric spectra of the material, by modulation of the internal electric field of the material, and determining from these changes the material parameters of interest. The means of modulation can be a source of electromagnetic radiation, for example a laser (8). The ellipsometer used may include an array of photodetectors. The process allows the real time monitoring of the process under examination.
(FR)L'invention a pour objet un procédé pour contrôler des paramètres d'un échantillon (4); (par exemple, les propriétés électriques d'un semiconducteur) pendant le traitement (tel que la fabrication). Ce procédé fait appel à des techniques ellipsométriques pour étudier les changements induits dans les spectres ellipsométriques du matériau, par la modulation du champ électrique interne de ce dernier, et déterminer à partir de ces changements les paramètres interessants. Les moyens de modulation peuvent être constitués par une source de rayonnement électromagnétique, par exemple, un laser (8). L'ellipsomètre utilisé peut comprendre plusieurs photodétecteurs. Ce procédé permet d'assurer le contrôle en temps réel du processus étudié.
Designated States: GB, JP, NZ, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)