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1. (WO1998016947) METHOD FOR STRUCTURED ENERGY TRANSMISSION USING ELECTRON BEAMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/016947    International Application No.:    PCT/DE1997/002303
Publication Date: 23.04.1998 International Filing Date: 08.10.1997
Chapter 2 Demand Filed:    07.05.1998    
IPC:
H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/30 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: F.O.B. GMBH GESELLSCHAFT ZUR FERTIGUNG FARBIGER OPTOELEKTRONISCHER BAUELEMENTE [DE/DE]; Schwoitscher Strasse 2, D-06184 Gröbers (DE) (For All Designated States Except US).
PANZER, Siegfried [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DÄNHARDT, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PANZER, Siegfried; (DE).
DÄNHARDT, Jürgen; (DE)
Agent: VOIGT, Wolf-Rüdiger; Alter Markt 1-2, D-06108 Halle (DE)
Priority Data:
196 42 116.0 12.10.1996 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR STRUKTURIERTEN ENERGIEÜBERTRAGUNG MIT ELEKTRONENSTRAHLEN
(EN) METHOD FOR STRUCTURED ENERGY TRANSMISSION USING ELECTRON BEAMS
(FR) PROCEDE DE TRANSMISSION D'ENERGIE STRUCTUREE AVEC DES FAISCEAUX ELECTRONIQUES
Abstract: front page image
(DE)Es sind eine Vielzahl von Verfahrensvarianten bekannt, um mit einem Elektronenstrahl Materialbearbeitungen oder Änderungen von Materialeigenschaften vorzunehmen. Es war bisher nicht möglich, kleinste Flächenbereiche (Pixel) in bestimmter Anordnung auf der Oberfläche definiert zu beaufschlagen, um bestimmte Effekte zu erzielen. Erfindungsgemäß wird das zu beaufschlagende Objekt berührungsfrei unter einer Maske bewegt. Ein zweidimensional ablenkbarer Elektronenstrahl wird hochfrequent oszillierend senkrecht zur Objektbewegungsrichtung über die Maske bewegt. Dabei ist diese Geschwindigkeit wesentlich größer als die Objektbewegungsgeschwindigkeit. Das Anwendungsgebiet ist die Behandlung von beliebigen Materialien, vorzugsweise flächenhafter, bandförmiger Objekte, um Bearbeitungseffekte durch physikalische oder chemische Reaktion zu erreichen.
(EN)Multiple methods are known to process materials or alter their properties using an electron beam. Until now, it was not possible to impinge upon minuscule surface sections (pixel) with a given arrangement on the surface in order to achieve certain effects. According to the invention, the object to be impinged upon is moved contact-free under a mask. A bidimensional deflectable electron beam oscillating at a high frequency perpendicular to the direction of movement of the object is moved on the mask, the speed being essentially faster than that of the movement of the object. Said method can be used for processing any material, preferably plane or band-shaped objects, in order to achieve processing effects by means of physical or chemical reaction.
(FR)Il existe une pluralité de variantes pour usiner des matériaux ou modifier leurs propriétés avec un faisceau électronique. Jusque-là, il était impossible d'exposer avec précision des surfaces infiniment petites (Pixel) selon une certaine disposition sur la surface pour obtenir les effets escomptés. Selon l'invention, l'objet à exposer est déplacé sans contact sous un masque. Un faisceau électronique 2D orientable est déplacé au-dessus du masque perpendiculairement à la direction de déplacement de l'objet tout en oscillant à haute fréquence. La vitesse de déplacement du faisceau est nettement plus élevée que la vitesse de déplacement de l'objet. Ce procédé a pour domaine d'application le traitement de matériaux quelconques, de préférence, d'objets sous forme de bandes et présentant une surface, pour obtenir des effets d'usinage par des réactions physiques ou chimiques.
Designated States: CN, JP, KR, US.
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)