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1. (WO1998015971) WAFER GRIPPING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/015971    International Application No.:    PCT/CH1997/000383
Publication Date: 16.04.1998 International Filing Date: 08.10.1997
Chapter 2 Demand Filed:    30.04.1998    
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: STÄUBLI AG PFÄFFIKON [CH/CH]; Poststrasse 5, CH-8808 Pfäffikon (CH) (For All Designated States Except US).
BALG, Christian [CH/CH]; (CH) (For US Only).
STRASSER, Bernhard [CH/CH]; (CH) (For US Only).
BLATTNER, Jakob [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: BALG, Christian; (CH).
STRASSER, Bernhard; (CH).
BLATTNER, Jakob; (CH)
Agent: R.A. EGLI & CO.; Horneggstrasse 4, Postfach, CH-8034 Zürich (CH)
Priority Data:
2458/96 09.10.1996 CH
08/889,150 07.07.1997 US
Title (DE) GREIFVORRICHTUNG FÜR WAFER
(EN) WAFER GRIPPING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PREHENSION POUR TRANCHES
Abstract: front page image
(DE)Für das Entnehmen und Transportieren von mehreren, zueinander parallel beabstandeten Wafern (3), welche in einem Behälter (4) aufbewahrt sind, wird die erfindungsgemässe Greifvorrichtung (1) vorgeschlagen. Diese weist einen Halterechen (10) und mehrere, bezüglich des Halterechens (10) verschieb- und verdrehbare Greifköpfe (6; 6') auf. Diese Greifköpfe (6; 6') können in der einen Schwenklage zwischen den Wafer (3) hindurch verfahren werden und dann in die andere Schwenklage verschwenkt werden. In dieser Lage können die Greifköpfe (6; 6') gegen die Ränder der Wafer (3) hin verschoben werden, mit diesen in Anschlag gelangen und gleichzeitig die gegenüberliegenden Ränder der Waferscheiben (3) in die Schlitze (11) des Halterechens (10) einschieben. Damit sind gleichzeitig alle im Behälter (4) befindlichen Wafer (3) sicher gehalten und können aus dem Behälter (4) heraus verschoben und verschwenkt werden. In der verschwenkten Lage können die nun vertikal stehenden Wafer (3) einem Bearbeitungsträger (5) zugeführt werden.
(EN)The present invention relates to a gripping device (1) for removing and transporting several separate parallel-lying wafers (3) that are stored in a container (4). Said device has a holder (10) and several gripping heads (6; 6') that are displaceable and rotatable with respect to the holder (10). Said heads (6; 6') can be transported from one swinging position between the wafer (3) to another swinging position. In this position, the gripping heads (6; 6') can be displaced against the borders of the wafer (3), where they come to a limiting stop and push in simultaneously the opposite borders of the wafer flanks (3) in the slot (11) of the holder (10). In this manner all wafers (3) inside the container (4) can be simultaneously grabbed safely, displaced from the container (4) and swung out. In swing position, the vertically-positioned wafers (3) can be placed on a processing support (5).
(FR)L'invention concerne un dispositif de préhension (1) pour prélever et transporter plusieurs tranches (3) espacées parallèlement qui sont stockées dans un récipient (4). Ce dispositif comporte un râtelier (10) et plusieurs têtes de préhension (6; 6') se déplaçant et tournant par rapport à ce dernier. Ces têtes (6; 6') peuvent passer d'une position de pivotement entre les tranches (3) à une autre position de pivotement. Dans cette position, les têtes de préhension (6; 6') peuvent être amenées contre les bords de la tranche (3), venir en butée contre ceux-ci et pousser simultanément les bords opposés des flancs de tranche (3) dans la fente (11) du râtelier (10). Ainsi, toutes les tranches (3) se trouvant dans le récipient (4) peuvent être simultanément saisies de manière fiable, extraites du récipient (4) puis soumises à un pivotement. Après pivotement, les tranches (3) désormais en position verticale peuvent être placées sur un support de traitement (5).
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)