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1. (WO1998015676) MICROMECHANICAL BUILDING COMPONENT AND PRODUCTION PROCESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/015676    International Application No.:    PCT/DE1997/002230
Publication Date: 16.04.1998 International Filing Date: 29.09.1997
Chapter 2 Demand Filed:    17.04.1998    
IPC:
C25D 1/00 (2006.01), C25D 5/02 (2006.01), H01H 1/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
MAGENAU, Horst [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHATZ, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GLOCK, Armin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KRAUSS, Elke [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHITTNY, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
JAUERNIG, Alexandra [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GLAS, Ronald [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MAGENAU, Horst; (DE).
SCHATZ, Frank; (DE).
GLOCK, Armin; (DE).
KRAUSS, Elke; (DE).
SCHITTNY, Thomas; (DE).
JAUERNIG, Alexandra; (DE).
GLAS, Ronald; (DE)
Priority Data:
196 41 531.4 09.10.1996 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND EIN VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
(EN) MICROMECHANICAL BUILDING COMPONENT AND PRODUCTION PROCESS
(FR) ELEMENT DE CONSTRUCTION MICROMECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung, das übereinander angeordnete Schichten aus metallischen Materialen aufweist, wobei die Schichten zumindest teilweise fest aneinander haften. Die Schichten des mikromechanischen Bauelementes sind über Zwischenschichten (4, 6, 10) miteinander verbunden, wobei die Zwischenschichten mindestens eine Sputterschicht (4, 10) sind, die als Startmetallisierung auf die jeweils untere Schicht (2) bestehend aus metallischen und nichtmetallischen Bereichen aufgetragen sind und auf die eine obenliegende metallische Galvanikschicht (7, 12) aufbringbar ist. Die Schichten (2, 7, 12) ergeben nach ihrer Fertigstellung das mikromechanische Bauelement mit aufeinander haftenden Schichten (2, 7) oder teilweise voneinander lösbaren Schichten (2, 12).
(EN)Disclosed is a micromechanical building component and the production thereof. The inventive building component presents a plurality of superimposed layers containing metal material, which strongly adhere to each other, at least partly. The layers of the micromechanical building components are interlinked through intermediate layers (4, 6, 10) which are applied - at least one layer integrated by spluttering (4, 10) - as an initial metallization on the respective lower layer (2) comprising metal and non metal portions, and can also be applied on an electrolitically metallized lower layer. After the finishing process of said layers (2, 7, 12), the inventive micromechanichal building component is obtained, with layers (2, 7) bonding to each other or layers partly severable from each other (2, 12).
(FR)La présente invention concerne un élément de construction micromécanique et le procédé de fabrication. Cet élément de construction présente plusieurs couches superposées de matériaux métalliques, qui adhèrent fortement les unes aux autres, du moins en partie. Les couches de l'élément de construction micromécanique sont liées les unes aux autres par des couches intermédiaires (4, 6, 10) qui sont appliquées - du moins une couche intégrée par crépitement (4, 10) - à titre de métallisation initiale sur la couche inférieure respective (2), composée de zones métalliques et non métalliques, et peuvent l'être sur une couche supérieure métallisée par électrolyse. Après le finissage desdites couches (2, 7, 12), on obtient l'élément de construction micromécanique selon l'invention, avec des couches (2, 7) en adhérence les unes sur les autres ou des couches en partie détachables les unes des autres (2, 12).
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)