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1. WO1998013851 - ION SOURCE FOR GENERATING IONS OF A GAS OR VAPOUR

Publication Number WO/1998/013851
Publication Date 02.04.1998
International Application No. PCT/HU1996/000054
International Filing Date 27.09.1996
Chapter 2 Demand Filed 05.03.1998
IPC
H01J 27/04 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
04using reflex discharge, e.g. Penning ion sources
CPC
H01J 2237/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
08Ion sources
H01J 2237/3114
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
31Processing objects on a macro-scale
3114Machining
H01J 27/04
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
04using reflex discharge, e.g. Penning ion sources
Applicants
  • BARNA, Árpád [HU]/[HU]
  • SZIGETHY, Dezso^' [HU]/[HU]
Inventors
  • BARNA, Árpád
  • SZIGETHY, Dezso^'
Agents
  • GÖDÖLLE, KÉKES, MÉSZÁROS & SZABÓ
Priority Data
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) ION SOURCE FOR GENERATING IONS OF A GAS OR VAPOUR
(FR) SOURCE D'IONS POUR LA GENERATION DES IONS D'UN GAZ OU D'UNE VAPEUR
Abstract
(EN)
An ion source for generating ions of a gas or vapour, especially for thinning solid state samples, comprising a housing (28), means for introducing (31) said gas or vapour into said housing (28), an anode (3) positioned within said housing (28), said anode (3) having a rotationally symmetrical cavity (21) being open at both sides along the axis (30) of the source, first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) disposed along said axis (30) and defining therebetween a space within which said anode (3) is positioned, said first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) creating an electrostatic field so as to cause electrons to oscillate between them, wherein at least one of said first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) being apertured for exit therethrough of a fraction of ions generated in said space. The ion source further comprises means for generating electrons (12) disposed at one of said sides of said cavity (21) and positioned outside said space, and means for causing said generated electrons to move into said cavity (21).
(FR)
La présente invention concerne une source d'ions destinée à la génération des ions d'un gaz ou d'une vapeur, notamment pour l'amincissement d'échantillons solides. Cette source est constituée d'une enceinte (28), d'un organe d'introduction (30) du gaz ou de la vapeur considérés dans l'enceinte (28), d'une anode (3) qui est disposée à l'intérieur de l'enceinte (28) et qui (3) présente une cavité à symétrie de rotation (21) s'ouvrant aux deux extrémités de l'axe (30) de la source, d'un premier et d'un second miroir optronique (1, 2; 5, 4) disposés dans la longueur de l'axe considéré (30) et définissant entre eux un espace renfermant l'anode (3) considérée. Ces premier et second miroir optronique (1, 2; 5, 4) créent un champ électrostatique provoquant entre les électrons une agitation oscillatoire. L'un au moins du premier ou du second miroir optronique (1, 2; 5, 4) présente un orifice destiné à la sortie d'une fraction des ions générés dans l'espace considéré. La source d'ions comporte en outre, d'une part un générateur d'électrons (12) qui est disposé de l'un des côtés de la cavité considérée (21) et qui se situe à l'extérieur de l'espace considéré, et d'autre part un dispositif envoyant dans la cavité considérés (21) les électrons produits.
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