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1. (WO1998003836) COORDINATE MEASURING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/003836    International Application No.:    PCT/DE1997/001222
Publication Date: 29.01.1998 International Filing Date: 17.06.1997
IPC:
G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: LEICA MIKROSKOPIE UND SYSTEME GMBH [DE/DE]; Postfach 20 40, D-35530 Wetzlar (DE) (For All Designated States Except US).
RINN, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: RINN, Klaus; (DE)
Priority Data:
196 28 969.6 18.07.1996 DE
Title (DE) KOORDINATEN-MESSVORRICHTUNG
(EN) COORDINATE MEASURING SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE COORDONNEES
Abstract: front page image
(DE)Zweistrahl-Interferometer mit wirksam reduziertem Einfluß der Wellenlängenänderungen auf die Weglängenmessung. Dies wird erreicht durch Einfügen eines lichtdurchlässigen, geschlossenen, inkompressiblen Körpers in den Referenzstrahlengang oder den Meßstrahlengang, so daß die außerhalb des Körpers verlaufenden Anteile von Referenzstrahlengang und Meßstrahlengang bei einer bestimmten Positionierung des verfahrbaren Meßspiegels gleich lang sind.
(EN)In a two-beam interferometer the influence of changes in wavelength on the measurement of path length is effectively reduced by interposing a translucent, closed, incompressible body in the reference beam or the measurement beam so that when the movable measurement mirror is positioned in a certain way the portions of reference beam and measurement beam passing outside the body are of equal length.
(FR)L'invention vise à réduire efficacement l'influence des variations de longueurs d'onde sur la mesure de la longueur de trajet dans un interféromètre à deux faisceaux. A cet effet, il est prévu d'interposer un corps translucide, fermé et incompressible dans le trajet du faisceau de référence ou dans le trajet du faisceau de mesure de sorte que les parties du faisceau de référence et du faisceau de mesure sortant du corps présentent des longueurs identiques, lorsque le miroir de mesure mobile est positionné d'une manière déterminée.
Designated States: CN, IL, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)