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1. (WO1998003696) TARGET ARRANGEMENT WITH A CIRCULAR DISK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/003696    International Application No.:    PCT/CH1997/000268
Publication Date: 29.01.1998 International Filing Date: 15.07.1997
Chapter 2 Demand Filed:    16.02.1998    
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Applicants: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI)
Inventors: DAXINGER, Helmut; (CH).
HAAG, Walter; (CH).
KUEGLER, Eduard; (AT)
Agent: WERNER, Georges; Troesch Scheidegger Werner AG, Siewerdtstrasse 95, CH-8050 Zürich (CH)
Priority Data:
1824/96 22.07.1996 CH
Title (DE) TARGETANORDNUNG MIT EINER KREISFÖRMIGEN PLATTE
(EN) TARGET ARRANGEMENT WITH A CIRCULAR DISK
(FR) ENSEMBLE CIBLE AVEC UNE PLAQUE CIRCULAIRE
Abstract: front page image
(DE)Eine Targetanordnung mit kreisförmiger Platte (19) weist entlang ihrem umlaufenden Rahmen (21) symmetrisch zu einer Ebene (E), senkrecht zu ihrer Zentrumsachse mindestens eine Ein- und/oder Ausformung (23, 43) auf, wobei beide Plattenseiten durch Sputtermaterial gebildet sind. Damit kann die Platte gewendet werden, und beide Seiten können abgesputtert werden.
(EN)A target arrangement with circular disk (19) has at least one inwardly and/or outwardly contoured section (23, 43) along its circumferential rim (21), symmetrical with a plane (E) and perpendicular to its central axis, both sides of the disk being constituted by sputter material. The disk can thus be turned and both sides can be sputtered.
(FR)L'invention concerne un ensemble cible avec une plaque circulaire (19), présentant, le long de son cadre périphérique (21), de façon symétrique par rapport à un plan (E) et perpendiculaire à son axe central, au moins une partie saillante vers l'intérieur et/ou vers l'extérieur (23, 43). Les deux faces de la plaque sont constituées d'un matériau de pulvérisation cathodique. La plaque peut ainsi être tournée et les deux faces peuvent être soumises à une pulvérisation cathodique.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)