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1. (WO1998003353) RIGID THIN WINDOWS FOR VACUUM APPLICATIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/003353    International Application No.:    PCT/US1997/012507
Publication Date: 29.01.1998 International Filing Date: 18.07.1997
Chapter 2 Demand Filed:    11.02.1998    
IPC:
H01J 33/04 (2006.01)
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA [US/US]; 22nd floor, 300 Lakeside Drive, Oakland, CA 94612 (US).
AMERICAN INTERNATIONAL TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Suite 201, 20445 Gramercy Place, Torrance, CA 90501-1514 (US)
Inventors: MEYER, Glenn, A.; (US).
CIARLO, Dino, R.; (US).
MYERS, Booth, R.; (US).
CHEN, Hao-Lin; (US).
WAKALOPULOS, George; (US)
Agent: SARTORIO, Henry, P.; P.O. Box 808, L-703, Livermore, CA 94550 (US)
Priority Data:
08/684,166 19.07.1996 US
Title (EN) RIGID THIN WINDOWS FOR VACUUM APPLICATIONS
(FR) FENETRE FINE RIGIDE POUR DES APPLICATIONS SOUS VIDE
Abstract: front page image
(EN)A thin window (30) that stands off atmospheric pressure is fabricated using photolithographic and wet chemical etching techniques and comprises at least two layers: an etch stop layer (10) and a protective barrier layer (20). The window structure also comprises a series of support ribs (36) running the width of the window. The windows are typically made of boron-doped silicon and silicon nitride and are useful in instruments such as electron beam guns and x-ray detectors. In an electron beam gun, the window does not impede the electrons and has demonstrated outstanding gun performance and survivability during the gun tube manufacturing process.
(FR)La présente invention concerne une fenêtre fine (30) arrêtant la pression atmosphérique. Cette fenêtre qui utilise pour sa fabrication des techniques de photogravure et de gravure humide, est constituée d'au moins deux couches: une couche d'arrêt de gravure (10) et une couche barrière protectrice (20). La structure de fenêtre comporte également une série nervures de support (36) disposées dans la largeur de la fenêtre. Ces fenêtres, qui sont faites normalement de silicium dopé au bore et de nitrure de silicium, conviennent particulièrement à des appareils tels que les canons d'électrons et les détecteurs de rayons X. Dans le cas du canon d'électrons, cette fenêtre n'arrête pas les électrons, et en outre, elle assure au canon un rendement hors paire et sa pérennité pendant le processus de fabrication du tube à canon.
Designated States: AU, CA, JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)