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1. (WO1998002926) PIEZOELECTRIC SENSOR AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/002926    International Application No.:    PCT/US1997/012165
Publication Date: 22.01.1998 International Filing Date: 11.07.1997
Chapter 2 Demand Filed:    30.01.1998    
IPC:
G01N 27/00 (2006.01), G01N 29/036 (2006.01)
Applicants: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. [US/US]; 7 Commerce Drive, Danbury, CT 06810 (US)
Inventors: TOM, Glenn, M.; (US).
MILLER, Cynthia, A.; (US)
Agent: HULTQUIST, Steven, J.; Intellectual Property/Technology Law, P.O. Box 14329, Research Triangle Park, NC 27709 (US)
Priority Data:
08/678,572 12.07.1996 US
08/679,258 12.07.1996 US
Title (EN) PIEZOELECTRIC SENSOR AND METHOD
(FR) CAPTEUR PIEZO-ELECTRIQUE ET PROCEDE D'UTILISATION
Abstract: front page image
(EN)A sensor for detection of a trace fluid component in a fluid environment, comprising: a piezoelectric crystal having a fundamental resonant frequency in response to an applied oscillating electric field; a coating on the piezoelectric crystal of a sensor material which is reactive with the trace fluid component to yield a solid interaction product; means for applying an oscillating electric field to the piezoelectric crystal which generates an output resonant frequency therefrom; means for (i) sampling the output resonant frequency of the piezoelectric crystal while the oscillating electric field is applied thereto, (ii) determining the change in resonant frequency from the fundamental resonant frequency that occurs on formation of the solid interaction product when the sensor material interacts with the trace fluid in the fluid environment, and (iii) generating an output indicative of the presence of the trace fluid component in the environment; and means for flowing fluid from the fluid environment to the coating on the piezoelectric crystal so that the trace fluid component when present reacts with the coating to form the solid interaction product; wherein the coated piezoelectric crystal exhibits a frequency response rate to the trace fluid component in the range of from about 0.001 to about 1000 milleHertz/min./(part-per-million of the fluid component). The sensor may be utilized for sensing of breakthrough in dry scrubbing of gases in semiconductor manufacturing, as well as for sensing of contaminant and hazardous gas species in ambient fluid environments, for environmental monitoring applications.
(FR)L'invention concerne un capteur destiné à la détection d'un composant fluide à l'état de traces dans un environnement fluide, comprenant: un cristal piézo-électrique doté d'une fréquence résonante fondamentale en réaction à l'application d'un champ électrique oscillant; un revêtement sur le cristal piézo-électrique d'un capteur sujet à réaction avec le composant fluide à l'état de traces pour donner un produit d'interaction solide; un dispositif d'application d'un champ électrique oscillant au cristal piézo-électrique qui génère à partir de là une fréquence résonante de sortie; un dispositif permettant: (i) d'échantillonner la fréquence résonante de sortie du cristal piézo-électrique pendant que le champ électrique oscillant y est appliqué, (ii) de déterminer la modification de la fréquence résonante à partir de la fréquence résonante fondamentale intervenant lors de la formation du produit d'interaction solide lorsque le capteur interagit avec le composant fluide à l'état de traces dans l'environnement fluide, et (iii) de générer un signal de sortie indiquant la présence du composant fluide à l'état de traces dans l'environnement; et un dispositif permettant de faire couler un fluide de l'environnement fluide sur le revêtement du cristal piézo-électrique, de façon que lorsque le composant fluide à l'état de traces est présent, il réagisse avec le revêtement pour former le produit d'interaction solide; dans le capteur, le cristal piézo-éectrique recouvert d'un revêtement présente une vitesse de réponse en fréquence au composant fluide à l'état de traces d'environ 0,001 à environ 1000 milliHertz/min./(partie par million du composant fluide). Le capteur peut servir à détecter une crevaison lors de l'épuration à sec des gaz dans la fabrication de semi-conducteurs, ainsi que des espèces gazeuses contaminantes et dangereuses dans des environnements fluides ambiants, et peut donc être utilisé dans la surveillance de l'environnement.
Designated States: JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)