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1. (WO1998001887) CHAMBER INTERFACING O-RINGS AND METHOD FOR IMPLEMENTING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/001887    International Application No.:    PCT/US1997/011619
Publication Date: 15.01.1998 International Filing Date: 01.07.1997
Chapter 2 Demand Filed:    04.02.1998    
IPC:
H01J 37/18 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6470 (US)
Inventors: BOYD, Trace, L.; (US).
BEER, Richard, D.; (US).
TERBEEK, Eric, A.; (US).
WONG, Vernon, W., H.; (US)
Agent: PENILLA, Albert, S.; Hickman Beyer & Weaver, P.O. Box 61059, Palo Alto, CA 94306 (US)
Priority Data:
08/675,994 09.07.1996 US
Title (EN) CHAMBER INTERFACING O-RINGS AND METHOD FOR IMPLEMENTING SAME
(FR) JOINTS TORIQUES D'INTERFACE POUR ENCEINTE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a method for implementing a vacuum seal between an interface of a transport chamber interface port of a transport chamber and another chamber. The transport chamber being configured to mate with the another chamber in an adjacent relationship. The method includes placing an insert plate having a sealing surface containing a first O-ring into the transport chamber interface port such that the first O-ring is sandwiched between the sealing surface and a surface of the another chamber. Therefore, a vacuum seal is achieved between the transport chamber and the another chamber within the transport chamber interface port via the first O-ring.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé permettant de créer un joint hermétique entre l'orifice d'interface d'une enceinte de transport et une autre enceinte. L'enceinte de transport est agencée de façon à être couplée à l'autre enceinte de manière adjacente. Le procédé consiste à placer une plaquette d'insertion munie d'une surface d'étanchéité contenant un premier joint torique dans l'orifice d'interface de l'enceinte de transport de manière que ledit premier joint torique est comprimé entre la surface d'étanchéité et une surface de l'autre enceinte. On obtient de la sorte, au moyen du premier joint torique, un joint d'étanchéité entre l'enceinte de transport et l'autre enceinte, à l'intérieur de l'orifice d'interface de l'enceinte de transport.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)