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1. (WO1998000761) PROJECTION ALIGNER FOR INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1998/000761    International Application No.:    PCT/EP1997/003406
Publication Date: 08.01.1998 International Filing Date: 30.06.1997
IPC:
G02B 13/14 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: HERAEUS QUARZGLAS GMBH [DE/DE]; Quarzstrasse, D-63450 Hanau (DE) (For All Designated States Except US).
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 22-2, Nishi-Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo (JP) (For All Designated States Except US).
FUJINOKI, Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIMURA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORI, Toshiki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUJINOKI, Akira; (JP).
NISHIMURA, Hiroyuki; (JP).
MORI, Toshiki; (JP)
Agent: STAUDT, Armin; Heraeus Quarzglas GmbH, Schutzrechte, Quarzstrasse, D-63450 Hanau (DE)
Priority Data:
8/191483 02.07.1996 JP
8/191493 02.07.1996 JP
8/191515 02.07.1996 JP
Title (EN) PROJECTION ALIGNER FOR INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION
(FR) ALIGNEUR PHOTOREPETITEUR POUR LA FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES
Abstract: front page image
(EN)A known projection aligner for integrated circuit fabrication, in which an integrated circuit pattern image is projected on a wafer, comprises an ArF excimer laser (1) and an optical system (5) comprising three groups of quartz glass optical members made of synthetic quartz glass. To provide a projection aligner having optical properties, such as transmittance, which are not degraded over a long time of operation and so that the optical system can be constructed at a low cost as a whole, it is suggested that the first quartz glass optical member group which is subjected to relatively low energy densities has a hydrogen molecule concentration in the range between 1 x 1017 and 5 x 1018 molecules/cm3 and that the third quartz glass optical member group (5a, 5b) which is subjected to relatively high energy densities has a hydrogen molecule concentration in the range between 5 x 1018 to 5 x 1019 molecules/cm3.
(FR)Un aligneur photorépétiteur connu, pour la fabrication de circuits intégrés, dans lequel une image du motif du circuit intégré est projetée sur une plaquette, comprend un laser excimer à ArF (1) et un système optique (5) constitué de trois éléments optiques en verre de quartz synthétique. Afin que l'aligneur photorépétiteur ait des propriétés optiques, telles que la transmittance, qui ne se dégradent pas au bout d'un longue durée de fonctionnement, et que l'ensemble du système optique puisse être construit à un faible coût, on suggère que le premier groupe d'éléments optiques en verre de quartz, qui est soumis à des densités énergétiques relativement faibles, ait une concentration en molécules d'hydrogène comprise entre 1x1017 et 5x1018 molécules/cm3, et que le troisième groupe d'éléments optiques en verre de quartz (5a, 5b), qui est soumis à des densités énergétiques relativement élevées, ait une concentration en molécules d'hydrogène comprise entre 5x1018 et 5x1019 molécules/cm3.
Designated States: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)