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1. (WO1997040524) DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/040524    International Application No.:    PCT/EP1997/001580
Publication Date: 30.10.1997 International Filing Date: 27.03.1997
Chapter 2 Demand Filed:    30.09.1997    
IPC:
B01J 19/26 (2006.01), B08B 3/10 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Applicants: STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE)
Inventors: WEBER, Martin; (DE).
OSHINOWO, John; (DE)
Priority Data:
196 16 402.8 24.04.1996 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
(EN) DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
(FR) DISPOSITIF POUR TRAITER DES SUBSTRATS DANS UN RECIPIENT POUR FLUIDE
Abstract: front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5) in einem Fluid-Behälter (1) ergibt sich ein besonders gleichmäßiges, laminares Strömungsverhalten über den gesamten Behälter-Bereich auch bei schnellem Einlassen eines Fluids mit hoher Strömungsgeschwindigkeit durch ein Düsensystem mit mehreren Düsen (7) zum Einleiten eines Fluids.
(EN)In a device for treating substrates (5) in a fluid container (1), a particularly uniform, laminar flow pattern throughout the container is obtained even when a fluid is rapidly fed in at a high flow rate by means of a nozzle system with several nozzles (7) for introducing a fluid.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de traiter des substrats (5) dans un récipient pour fluide (1), dans lequel le comportement à l'écoulement laminaire est particulièrement homogène sur l'ensemble de la zone du récipient, même en cas d'alimentation rapide d'un fluide à vitesse d'écoulement élevée par un système d'ajutages comprenant plusieurs ajutages (7) pour introduire le fluide.
Designated States: CA, CN, CZ, IL, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)