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1. (WO1997040523) DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/040523    International Application No.:    PCT/EP1997/001575
Publication Date: 30.10.1997 International Filing Date: 27.03.1997
Chapter 2 Demand Filed:    30.10.1997    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE).
IMEC VZW [BE/BE]; Kapeldreef 75, B-3001 Leven (BE) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE only)
Inventors: WEBER, Martin; (DE).
MEURIS, Marc; (BE).
CORNELISSEN, Ingrid; (BE)
Agent: WAGNER, Karl, H.; Wagner & Geyer, Gewürzmühlstrasse 5, D-80538 München (DE)
Priority Data:
196 15 969.5 22.04.1996 DE
196 52 526.8 17.12.1996 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
(EN) DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR TRAITER DES SUBSTRATS DANS UN RECIPIENT POUR FLUIDE
Abstract: front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (3) in einem Fluid-Behälter (1) mit einer über den Fluid-Behälter (1) bringbaren Transporteinrichtung (5) ergibt sich eine besonders einfache und sichere Behandlung und Handhabung der Substrate (3), wenn die Transporteinrichtung (5) eine Substrat-Halteeinrichtung (6) aufweist, die die Substrate (3) in einer ersten Stellung hält und in einer zweiten Stellung freigibt.
(EN)In a device fro treating substrates (3) in a fluid container (1) with a transport device (5) which can be moved above the fluid container (1), the substrates (3) can be particularly easily and securely treated and handled if the transport device (5) has a substrate holder (6) which secures the substrates (3) in a first position and releases them in a second position.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de traiter des substrats (3) dans un récipient pour fluide (1), comportant un dispositif de transport (5) pouvant être amené au-dessus du récipient pour fluide (1). On parvient à un traitement et à une manipulation particulièrement aisés et fiables des substrats (3) si le dispositif de transport (5) présente un dispositif de retenue des substrats (6) qui maintient les substrats (3) dans une première position et les libère dans une seconde position.
Designated States: CA, CN, CZ, IL, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)