WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1997040522) DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/040522    International Application No.:    PCT/EP1997/001528
Publication Date: 30.10.1997 International Filing Date: 26.03.1997
Chapter 2 Demand Filed:    06.09.1997    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE) (For All Designated States Except US).
SCHÖNLEBER, Dietmar [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SCHÖNLEBER, Dietmar; (DE)
Agent: WAGNER, Karl, H.; Wagner & Geyer, Gewürzmühlstrasse 5, D-80538 München (DE)
Priority Data:
196 15 970.9 22.04.1996 DE
197 03 646.5 31.01.1997 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
(EN) DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR TRAITER DES SUBSTRATS DANS UN RECIPIENT POUR FLUIDE
Abstract: front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (3) in einem Fluid-Behälter (1) erhalten die Substrate (3) auch bei großen Abmessungen einen besonders sicheren Halt durch wenigstens eine Halteleiste (6), die auf den oberen Kantenbereich der Substrate (3) auflegbar ist. Ein Verfahren zum Behandeln von Substraten ist ebenfalls angegeben.
(EN)In a device for treating substrates (3) in a fluid container (1), even large substrates (3) are particularly securely held by means of at least one securing strip (6) which can be laid on the upper edge region of the substrates (3). The invention also relates to a process for treating substrates.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de traiter des substrats (3) dans un récipient pour fluide (1), qui assure aux substrats (3) un maintien particulièrement fiable, même à ceux dont les dimensions sont importantes, par l'intermédiaire d'au moins une baguette de retenue (6) qui peut être appliquée sur la zone marginale supérieure des substrats (3). L'invention concerne également un procédé permettant de traiter des substrats.
Designated States: CA, CN, CZ, IL, JP, KR, MX, NO, SG, SK, US, VN.
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)