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1. (WO1997038440) COUPLING SYSTEM FOR THE TRANSFER OF A CONFINED PLANAR OBJECT FROM A CONTAINMENT POD TO AN OBJECT PROCESSING UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/038440    International Application No.:    PCT/FR1997/000588
Publication Date: 16.10.1997 International Filing Date: 02.04.1997
Chapter 2 Demand Filed:    28.10.1997    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31-33, rue de la Fédération, F-75015 Paris (FR) (For All Designated States Except US).
DOCHE, Claude [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: DOCHE, Claude; (FR)
Agent: BREVATOME; 25, rue de Ponthieu, F-75008 Paris (FR)
Priority Data:
96/04170 03.04.1996 FR
Title (EN) COUPLING SYSTEM FOR THE TRANSFER OF A CONFINED PLANAR OBJECT FROM A CONTAINMENT POD TO AN OBJECT PROCESSING UNIT
(FR) SYSTEME D'ACCOUPLEMENT POUR UN TRANSFERT CONFINE D'UN OBJET PLAT D'UNE BOITE DE CONFINEMENT VERS UNE UNITE DE TRAITEMENT DE L'OBJET
Abstract: front page image
(EN)A coupling system for the transfer of a confined planar object (12) from a containment enclosure (10) with a first sealing gate (16) to an object processing unit (20) with at least a second opening (28) for transferring the planar object is disclosed, said system including coupling means (30) for sealingly coupling the first and second openings (18, 28) and comprising a second sealing gate (36), and means for releasing said first and second sealing gates.
(FR)L'invention concerne un système d'accouplement pour un transfert confiné d'un objet plat (12) d'une boîte de confinement (10) avec un premier obturateur (16), vers une unité de traitement (20), présentant au moins une seconde ouverture (28) de transfert de l'objet plat. Le système comporte: des moyens (30) d'accouplement étanche des première et seconde ouvertures (18, 28), ces moyens présentant un deuxième obturateur (36), des moyens de libération des premier et deuxième obturateurs.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)