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1. (WO1997038439) DEVICE FOR TRANSPORTING PLANAR OBJECTS AND METHOD FOR TRANSFERRING SAID OBJECTS FROM THE DEVICE TO A PROCESSING MACHINE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/038439    International Application No.:    PCT/FR1997/000587
Publication Date: 16.10.1997 International Filing Date: 02.04.1997
Chapter 2 Demand Filed:    28.10.1997    
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31-33, rue de la Fédération, F-75015 Paris (FR) (For All Designated States Except US).
DOCHE, Claude [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: DOCHE, Claude; (FR)
Agent: BREVATOME; 25, rue de Ponthieu, F-75008 Paris (FR)
Priority Data:
96/04173 03.04.1996 FR
Title (EN) DEVICE FOR TRANSPORTING PLANAR OBJECTS AND METHOD FOR TRANSFERRING SAID OBJECTS FROM THE DEVICE TO A PROCESSING MACHINE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT D'OBJETS PLATS ET PROCEDE DE TRANSFERT DE CES OBJETS ENTRE LEDIT DISPOSITIF ET UNE MACHINE DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)A device for transporting planar objects contained in a predetermined atmosphere is disclosed, which device includes one or more assemblies with a plurality of parallel, planar, low thickness cells (31), in fluid connection with each other and opening on a side surface (33) of said assembly. Each cell (31) is capable of receiving a planar object (10) and of being closed by an independent gate (33). The invention also pertains to a method for transferring planar objects (10) from said device to processing machines, particularly vacuum machines.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de transport d'objets plats confinés dans une atmosphère déterminée, qui comporte au moins un ensemble muni de plusieurs alvéoles (31) plates, de faible épaisseur débouchant sur une face latérale (33) dudit ensemble, disposées en parallèle, réunies entre elles d'un point de vue aéraulique; chaque alvéole (31) étant apte à recevoir un objet plat (10) et à être fermée par une porte indépendante (33). La présente invention concerne également un procédé de transfert d'objets plats (10) dudit dispositif vers des machines de traitement, notamment des machines à vide.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)