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1. (WO1997038149) CATHODIC ARC CATHODE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/038149    International Application No.:    PCT/US1997/005906
Publication Date: 16.10.1997 International Filing Date: 08.04.1997
IPC:
C23C 14/32 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: CHRISTY, Ronald [US/US]; (US)
Inventors: CHRISTY, Ronald; (US)
Agent: PARKER, Sheldon, H.; Parker & De Stefano, P.C., Suite 300, 300 Preston Avenue, Charlottesville, VA 22902 (US)
Priority Data:
60/015,033 08.04.1996 US
Title (EN) CATHODIC ARC CATHODE
(FR) CATHODE A ARC CATHODIQUE
Abstract: front page image
(EN)A cathodic arc cathode is provided with an insulating ring (102) in close proximity to the underside of the cantilevered edge of the target (101), and with no other conducting surface exposed in the coating system. An electrical connection (107) is provided to opposite ends of the cathode through two or more low resistance resistors (106) with high temperature coefficients of resistance. For all cases of cathodic arc deposition, the system causes the arc to reliably remain on the cathode surface and move randomly, thereby assuring uniform cathode erosion on large or small planar or cylindrical cathodes, which can be produced at low cost.
(FR)Un cathode à arc cathodique est dotée d'un anneau isolant (102) situé près de la face inférieure du bord en porte-à-faux de la cible (101), aucune autre surface conductrice n'étant exposée dans le système d'enduction. Une connexion électrique (107) est prévue aux extrémités opposées de la cathode, par l'intermédiaire d'au moins deux résistances de faible valeur ohmique (106) à coefficient de température de la résistance élevé. Dans tous les cas de dépôt par arc cathodique, le système permet de maintenir l'arc de manière fiable sur la surface de la cathode et de se déplacer de manière aléatoire, ce qui assure une érosion homogène de la cathode sur des cathodes planes ou cylindriques de grandes ou petites tailles qui peuvent être produites à faible coût.
Designated States: European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)