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1. (WO1997037061) GALVANIC DEPOSITION CELL WITH AN ADJUSTING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/037061    International Application No.:    PCT/EP1997/001639
Publication Date: 09.10.1997 International Filing Date: 01.04.1997
IPC:
C25D 1/10 (2006.01)
Applicants: SONO PRESS PRODUKTIONSGESELLSCHAFT FÜR TON- UND INFORMATIONSTRÄGER MBH [DE/DE]; Carl-Bertelsmann-Strasse 161, D-33332 Gütersloh (DE) (For All Designated States Except US).
BOCK, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KRAWCZYK, Wittold [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PRENZEL, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OPITZ, Rudolf [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BOCK, Michael; (DE).
KRAWCZYK, Wittold; (DE).
PRENZEL, Klaus; (DE).
OPITZ, Rudolf; (DE)
Agent: SCHAUMBURG, Karl-Heinz; Postfach 86 07 48, D-81634 München (DE)
Priority Data:
96105230.5 01.04.1996 EP
Title (DE) GALVANISCHE ABSCHEIDUNGSZELLE MIT JUSTIERVORRICHTUNG
(EN) GALVANIC DEPOSITION CELL WITH AN ADJUSTING DEVICE
(FR) CELLULE DE DEPOT GALVANIQUE POUVUE D'UN DISPOSITIF D'AJUSTAGE
Abstract: front page image
(DE)Beschrieben wird eine Einrichtung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht auf einem Träger, mit einem Behälter (50) zur Aufnahme des Elektrolyten (58), mit einem mit Anodenmaterial gefüllten Anodenbehälter (56) mit einer im wesentlichen planen Austrittsfläche (89) für Metallionen des Anodenmaterials. Ein Trägerhalter (86) ist mit einer angetriebenen Welle (84) verbunden, die in einer Antriebsvorrichtung (54) auf einem Deckel (52) des Behälters (50) gelagert ist. Der Deckel (52) ist um eine Drehachse einer Schwenkvorrichtung (70) drehbar gelagert, die auf der dem Anodenbehälter (56) gegenüberliegenden Seite des Behälters (50) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist die Trägeroberfläche in bezug auf die ihr gegenüberliegende Austrittsfläche (89) des Anodenbehälters (56) justierbar.
(EN)The invention concerns a device for galvanically depositing a metal layer on a substrate, the device comprising a container (50) for holding the electrolyte (58), and an anode container (56) which is filled with anode material and has a substantially flat outlet area (89) for metallic ions of the anode material. A substrate holder (86) is connected to a driven shaft (84) which is mounted in a drive device (54) on a cover (52) of the container (50). The cover (52) is mounted so as to rotate about an axis of rotation of a pivot device (70) which is secured on the side of the container (50) opposite the anode container (56). According to the invention, the substrate surface can be adjusted relative to the outlet area (89) of the anode container (56) lying opposite said surface.
(FR)L'invention concerne un dispositif servant au dépôt galvanique d'une couche de métal sur un substrat, comprenant un récipient (50) destiné à contenir l'électrolyte (58), et un récipient à anode (56) qui est rempli avec une matière d'anode et pourvu d'une surface de sortie (89) sensiblement plate pour les ions métalliques de la matière d'anode. Un porte-substrat (86) est relié à un arbre entraîné (84) qui est monté dans un dispositif d'entraînement (54), sur un couvercle (52) du récipient (50). Ledit couvercle (52) est monté de façon à pouvoir tourner autour d'un axe de rotation d'un dispositif de pivotement (70) qui est fixé sur le côté du récipient (50) opposé au récipient à anode (56). Selon l'invention, la surface du substrat peut être ajustée par rapport à la surface de sortie (89) du récipient à anode (56) qui se trouve en vis-à-vis.
Designated States: CN, JP, KR, US.
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)