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1. WO1997030488 - WAVEGUIDE STRUCTURES AND A METHOD OF FABRICATION THEREOF

Publication Number WO/1997/030488
Publication Date 21.08.1997
International Application No. PCT/GB1997/000424
International Filing Date 14.02.1997
Chapter 2 Demand Filed 05.09.1997
IPC
H01P 11/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
11Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
CPC
H01P 11/002
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
11Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
001Manufacturing waveguides or transmission lines of the waveguide type
002Manufacturing hollow waveguides
Applicants
  • COUNCIL FOR THE CENTRAL LABORATORY OF THE RESEARCH COUNCILS [GB]/[GB] (AllExceptUS)
  • MANN, Christopher [GB]/[GB] (UsOnly)
Inventors
  • MANN, Christopher
Agents
  • PERKINS, Sarah
Priority Data
9603196.815.02.1996GB
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) WAVEGUIDE STRUCTURES AND A METHOD OF FABRICATION THEREOF
(FR) STRUCTURES DE GUIDE D'ONDE ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE
Abstract
(EN)
The waveguide structure is fabricated by patterning active elements on a semiconductor wafer (21). The upper surface of the wafer (21) and the active elements are then coated by a dissolvable positive resist polymer. The polymer is etched using conventional techniques to produce a former for the structure of the waveguide channel and subsequently the polymer former is coated (26) and electroformed (27) using a suitable metallic material. Finally the polymer former is dissolved leaving an open channel (25) the boundaries of which are defined by the electroformed structure. The waveguide structure has the advantage that the active elements are integral with the waveguide structure and lie in a common fabrication plane which means that if the depth of the waveguide varies the active elements remain in the same plane. The waveguide structure is particularly suited for use at terahertz frequencies.
(FR)
On fabrique cette structure de guide d'onde en formant des éléments actifs sur une plaquette à gravure en semi-conducteur (21), puis en revêtant la surface supérieure de cette plaquette (21), ainsi que les éléments actifs, d'un polymère de résist positif soluble. On attaque le polymère à l'aide de techniques classiques afin d'obtenir un gabarit pour la structure du canal de guide d'onde, puis on recouvre (26) et on électroforme (27) ce gabarit polymère, en utilisant un matériau métallique approprié. Enfin, on dissout le gabarit polymère, lequel laisse un canal ouvert (25) dont les limites sont déterminées par la structure électroformée. Cette structure de guide d'onde présente l'avantage que les éléments actifs sont monoblocs avec elle et qu'ils se situent sur un plan commun de fabrication, ce qui signifie que si la profondeur du guide d'onde varie, les éléments actifs restent sur le même plan. Cette structure de guide d'onde est notamment appropriée pour être utilisée à des fréquences térahertz.
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