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1. (WO1997021847) METAL-VAPORIZING METHODS AND VAPORIZER BOAT THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/021847    International Application No.:    PCT/DE1996/002338
Publication Date: 19.06.1997 International Filing Date: 05.12.1996
Chapter 2 Demand Filed:    12.06.1997    
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01)
Applicants: SINTEC KERAMIK GMBH [DE/DE]; Romantische Strasse 18, D-87642 Buching (DE) (For All Designated States Except US).
GOETZ, Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GOETZ, Ulrich; (DE)
Agent: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER; Steinsdorfstrasse 6, D-80538 München (DE)
Priority Data:
195 45 914.8 08.12.1995 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VERDAMPFERSCHIFFCHEN ZUM VERDAMPFEN VON METALL
(EN) METAL-VAPORIZING METHODS AND VAPORIZER BOAT THEREFOR
(FR) PROCEDES DE VAPORISATION DE METAL ET NACELLE DE VAPORISATION UTILISEE A CETTE FIN
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft Verfahren zum Verdampfen von Metall mittels eines widerstandsbeheizten Verdampferschiffchens (5), sowie ein solches widerstandsbeheiztes Verdampferschiffchen (5), mittels welchem diese Verfahren durchführbar sind. Gemäss den Verfahren sowie dem Verdampferschiffchen wird in der Randzone (17), also entlang der Längskante des Verdampferschiffchens, eine derart verringerte Temperatur erzeugt, dass entlang dieser Längskante nur eine sehr geringe Benetzungsneigung vorhanden ist, und so verhindert wird, dass, ggf. ohne eine Kavität (14) in der Verdampfungsfläche des Verdampferschiffchens vorsehen zu müssen, eine solche Lokalisierung der Schmelze erfolgt, dass diese nicht über die Längskanten des Verdampferschiffchens überlaufen kann und deshalb eine optimale Benetzung sowie eine stets zielgerichtete Verdampfung des Metalls nach oben auf die zu bedampfende Fläche erfolgt.
(EN)The invention concerns methods of vaporizing metal by means of a resistance-heated vaporizer boat (5), and such a resistance-heated vaporizer boat (5) for carrying out these methods. According to the invention, a reduced temperature is generated in the edge region (17), i.e. along the longitudinal edge of the vaporizer boat, such that there is only a very slight wetting tendency along this longitudinal edge. Consequently, the melt can be localized such that it cannot overflow over the longitudinal edges of the vaporizer boat, without a cavity (14) necessarily having to be provided in the vaporization surface of the vaporizer boat. As a result, optimum wetting and constantly targeted vaporization of the metal upwards towards the area to be vapour-deposited are attained.
(FR)L'invention concerne des procédés de vaporisation de métal à l'aide d'une nacelle de vaporisation (5) chauffée par résistance, ainsi qu'une nacelle de vaporisation (5) chauffée par résistance, utilisée pour mettre lesdits procédés en oeuvre. Selon l'invention, une température réduite est produite dans la zone marginale (17) et par conséquent le long de l'arête longitudinale de la nacelle de vaporisation, de manière que la tendance à l'imprégnation soit très réduite le long de cette arête longitudinale. La matière en fusion peut ainsi être localisée de manière à ne pas déborder des arêtes longitudinales de la nacelle de vaporisation, sans qu'il soit nécessaire de prévoir une cavité (14) dans la surface de vaporisation de la nacelle de vaporisation. On obtient ainsi une imprégnation optimale, ainsi qu'une vaporisation toujours ciblée du métal vers le haut sur la surface à métalliser au vide.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN.
African Regional Intellectual Property Organization (KE, LS, MW, SD, SZ, UG)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)