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1. (WO1997020179) DISPERSION TYPE MULTI-TEMPERATURE CONTROL SYSTEM AND FLUID TEMPERATURE CONTROL DEVICE APPLICABLE TO THE SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/020179    International Application No.:    PCT/JP1996/003459
Publication Date: 05.06.1997 International Filing Date: 26.11.1996
Chapter 2 Demand Filed:    04.12.1996    
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), F24H 1/10 (2006.01)
Applicants: KOMATSU LTD. [JP/JP]; 3-6, Akasaka 2-chome, Minato-ku, Tokyo 107 (JP) (For All Designated States Except US).
KADOTANI, Kanichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KADOTANI, Kanichi; (JP)
Agent: KAMIMURA, Teruyuki; 8-3-702, Kotobashi 1-chome, Sumida-ku, Tokyo 130 (JP)
Priority Data:
7/312048 30.11.1995 JP
8/28021 15.02.1996 JP
8/180102 20.06.1996 JP
8/180103 20.06.1996 JP
Title (EN) DISPERSION TYPE MULTI-TEMPERATURE CONTROL SYSTEM AND FLUID TEMPERATURE CONTROL DEVICE APPLICABLE TO THE SYSTEM
(FR) SYSTEME DE REGULATION MULTI-TEMPERATURE DU TYPE A DISPERSION ET DISPOSITIF DE REGULATION DE TEMPERATURE DE FLUIDE APPLICABLE A CE SYSTEME
Abstract: front page image
(EN)A fluid temperature control device is improved so as to be simple in construction, to provide a uniform fluid temperature and to heat even a fluid having a low light absorption rate. A fluid temperature control device includes a tubular inside container (20), a tubular outside container (22) surrounding the inside container (20), and a heating lamp (25) inserted into the inside container (20). Metallic fins (28a, 28b) are provided on inner and outer circumferential surfaces of the inside container (20) in such a manner as to erect from the surfaces, respectively. Working fluid is caused to flow in a flow path (21) between the inside container (20) and the heating lamp (25) and cooling water in a flow path (23) between the inside container (20) and the outside container (22). Infrared rays from the heating lamp (25) heat the working fluid and heat absorption into the cooling water cools the working fluid. This fluid temperature control device is used to control the temperatures of a plurality of process chambers equipped on, for instance, a reaction processing device. A plurality of the temperature control devices are disposed near the reaction processing device. Each temperature control device is exclusively assigned to each of a plurality of portions of the process chamber. Each temperature control device supplies the temperature-controlled working fluid to each portion of the process chamber.
(FR)On améliore, dans le cadre de cette invention, un dispositif de régulation de température de fluide afin de simplifier sa construction, d'obtenir un température uniforme de fluide et même de chauffer un fluide dont la vitesse d'absorption de la lumière est peu élevée. Un dispositif de régulation de température de fluide comporte un récipient interne tubulaire (20), un récipient externe tubulaire (22) entourant le premier et une lampe chauffante (25) insérée dans le récipient interne (20). Les surfaces des pourtours intérieur et extérieur du récipient interne (20) sont pourvues d'ailettes métalliques (28a, 28b) s'élevant depuis lesdites surfaces. On fait couler un fluide de travail dans un chemin d'écoulement (21) entre le récipient interne (20) et la lampe chauffante (25) ainsi que de l'eau de refroidissement se trouvant dans un chemin d'écoulement (23) entre le récipient interne (20) et le récipient externe (22). Des rayons infrarouges provenant de la lampe chauffante (25) chauffent le fluide de travail qui est refroidi du fait de l'absorption de chaleur par l'eau de refroidissement. On utilise ce dispositif de régulation de température pour agir sur la température de plusieurs chambres de traitement montées, par exemple, sur un dispositif de traitement par réaction. Plusieurs de ces dispositifs de régulation de température sont disposés près du dispositif de traitement par réaction, chacun d'eux étant chargé d'une partie de la chambre de traitement. Chacun de ces dispositif alimente en fluide de travail à température régulée chaque partie de la chambre de traitement.
Designated States: CN, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)