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1. (WO1997019464) STORAGE BOX FOR AN OBJECT TO BE PROTECTED FROM PHYSICAL/CHEMICAL CONTAMINATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1997/019464 International Application No.: PCT/FR1996/001828
Publication Date: 29.05.1997 International Filing Date: 19.11.1996
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
673
using specially adapted carriers
Applicants:
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31-33, rue de la Fédération F-75015 Paris, FR (AllExceptUS)
L'AIR LIQUIDE [FR/FR]; 75, quai d'Orsay F-75321 Paris Cédex 07, FR (AllExceptUS)
SPINELLI, Philippe [FR/FR]; FR (UsOnly)
DOCHE, Claude [FR/FR]; FR (UsOnly)
ROSTAING, Jean-Christophe [FR/FR]; FR (UsOnly)
COEURET, François [FR/FR]; FR (UsOnly)
SCOTTO D'APOLONIA, Sylvain [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventors:
SPINELLI, Philippe; FR
DOCHE, Claude; FR
ROSTAING, Jean-Christophe; FR
COEURET, François; FR
SCOTTO D'APOLONIA, Sylvain; FR
Agent:
BREVATOME; 25, rue de Ponthieu 422-5/S002 F-75008 Paris, FR
Priority Data:
95/1372020.11.1995FR
Title (EN) STORAGE BOX FOR AN OBJECT TO BE PROTECTED FROM PHYSICAL/CHEMICAL CONTAMINATION
(FR) BOITE DE STOCKAGE D'UN OBJET DESTINE A ETRE PROTEGE D'UNE CONTAMINATION PHYSICO-CHIMIQUE
Abstract:
(EN) A strong, lightweight, highly electrically conductive storage box having a low gas removal rate and preventing the infiltration of external atmospheric gas into said box. The box (1) has plastic walls coated on the inside and/or outside with at least one protective layer (13, 14) made of SiOxNyHt, wherein t is less than x and/or y. Said box is useful for storing silicon wafers.
(FR) L'invention concerne une boîte de stockage d'un objet destiné à être protégé d'une contamination physico-chimique. Le but de l'invention est de réaliser une boîte de stockage de faible poids, de bonne résistance mécanique, de bonne conduction électrique ayant un faible taux de dégazage dans le temps et empêchant la diffusion de gaz de l'atmosphère extérieure à l'intérieur de ladite boîte. Ce but est atteint à l'aide d'une boîte (1) dont la surface interne et/ou la surface externe des parois en matière plastique est revêtue d'au moins une couche de protection (13, 14) réalisée en SiOxNyHt où t est inférieur à x et/ou à y. Application au stockage des plaquettes de silicium.
Designated States: JP, KR, SG, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)
Also published as:
SG53547EP0804801US6214425JPH10513313 KR1019980701533