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1. (WO1997017722) FACILITY FOR TREATING OBJECTS IN A PROCESS TANK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1997/017722 International Application No.: PCT/EP1996/004487
Publication Date: 15.05.1997 International Filing Date: 16.10.1996
Chapter 2 Demand Filed: 26.04.1997
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Applicants:
STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10 D-72124 Pliezhausen, DE (AllExceptUS)
POKORNY, Joachim [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
POKORNY, Joachim; DE
Priority Data:
195 41 436.507.11.1995DE
Title (DE) ANLAGE ZUR BEHANDLUNG VON GEGENSTÄNDEN IN EINEM PROZESSTANK
(EN) FACILITY FOR TREATING OBJECTS IN A PROCESS TANK
(FR) INSTALLATION POUR TRAITER DES OBJETS DANS UN CONTENANT
Abstract:
(DE) Bei einer Anlage zur Behandlung von Gegenständen in einem Prozeßtank (1), in dem wenigstens ein Behandlungsfluid ein- und/oder ausgeleitet wird, ergibt sich eine gleichmäßige Fluid- und Druckverteilung über den gesamten Querschnitt des Prozeßtanks (1) bzw. des Behandlungsraums hinweg mit laminaren Strömungsverhältnissen durch wenigstens eine Fluidverteilungs-Vorrichtung (4, 8), über die das Behandlungsfluid ein- und/oder ausgeleitet wird. Die Fluidverteilungs-Vorrichtung (4, 8) ist vorzugsweise wenigstens ein poröser Stab (4), wenigstens eine poröse Platte (8), wenigstens eine Kapillarplatte (8) und/oder wenigstens ein ein- oder mehrlagiges Gewebe (8).
(EN) In a facility for treating objects in a process tank (1) in which at least one treatment fluid is introduced and/or discharged therefrom, an even fluid distribution and pressure distribution over the entire cross-section of the process tank (1) or treatment chamber with laminar flow conditions is assured by at least one fluid-distribution device (4, 8) through which the treatment fluid is introduced or removed. The fluid distribution system (4, 8) preferably comprises at least one porous rod (4), at least one porous plate (8), at least one capillary plate (8) and/or at least one single- or multi-layered fabric element (8).
(FR) Dans une installation destinée à traiter des objets dans un contenant (1) dans lequel est introduit et/ou duquel est évacué au moins un fluide de traitement, une répartition uniforme du fluide et de la pression sur toute la section transversale du contenant (1) ou de l'espace de traitement avec des conditions d'écoulement du fluide laminaires est produite par au moins un dispositif (4,8) de répartition du fluide, ledit dispositif étant traversé par le fluide de traitement introduit et/ou évacué. Le dispositif (4,8) de répartition du fluide est, de préférence, au moins une barre (4) poreuse, au moins une plaque (8) poreuse, au moins une plaque (8) capillaire et/ou au moins un tissu (8) à une couche ou à couches multiples.
Designated States: AU, CA, CN, CZ, IL, JP, KR, PL, SG, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP0860021US20010008142JPH11501461 CA2234116KR1019990067372AU1996072934