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1. (WO1997017717) AN ION IMPLANTER WITH POST MASS SELECTION DECELERATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1997/017717 International Application No.: PCT/GB1996/002741
Publication Date: 15.05.1997 International Filing Date: 08.11.1996
IPC:
H01J 37/30 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30
Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30
Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317
for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. ion implantation
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 9504, US (AllExceptUS)
ENGLAND, Jonathan, Gerald [GB/GB]; GB (UsOnly)
ADIBI, Babak [GB/US]; US (UsOnly)
TAYLOR, Mitchell, C. [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
ENGLAND, Jonathan, Gerald; GB
ADIBI, Babak; US
TAYLOR, Mitchell, C.; US
Agent:
BOULT WADE TENNANT; 27 Furnival Street London EC4A 1PQ, GB
Priority Data:
9522883.908.11.1995GB
9616169.001.08.1996GB
Title (EN) AN ION IMPLANTER WITH POST MASS SELECTION DECELERATION
(FR) IMPLANTEUR D'IONS A DECELERATION APRES SELECTION DE MASSE
Abstract:
(EN) A decel lens assembly (9) located between the mass selection flight tube and the substrate holder comprises a first electrode (65) at the substrate potential, a second electrode (60) at the flight tube potential and a field electrode (61) between the two at a negative potential to provide focusing. The axial spacing in the beam direction between the first and second electrodes is less than the smallest transverse dimension of the field electrode. The decel lens assembly (9) is mounted directly opposite the outlet from the process chamber to the vacuum pump to maximise evacuation efficiency. An additional screening electrode (56) is provided between the second electrode of the decel lens assembly and the exit aperture of the mass selector. A perforated screening cylinder (54) is mounted on the flight tube with the second electrode of the lens assembly mounted at the down beam end of the cylinder. A first electrode has a cylindrical screening flange extending around the field electrode. A further screening electrode is located at the entrance to the electron confinement tube of the PFS system.
(FR) Ensemble lentille de décélération (9) situé entre le tube de volée à sélection de masse et le support de substrat, constitué d'une première électrode (65) au potentiel du substrat, d'une deuxième électrode (60) au potentiel du tube de volée et d'une électrode de champs (61) entre les deux, à un potentiel négatif pour produire la focalisation. L'espacement axial dans la direction du faisceau entre la première et la deuxième électrode est inférieur à la plus petite dimension transversale de l'électrode de champs. L'ensemble lentille de décélération (9) est monté directement à l'opposé de la sortie de la chambre de traitement aboutissant à la pompe à vide pour une efficacité d'évacuation maximale. Une électrode de criblage supplémentaire (56) est montée entre la deuxième électrode de l'ensemble lentille de décélération et l'ouverture de sortie du sélecteur de masse. Un cylindre de criblage perforé (54) est monté sur le tube de volée, la deuxième électrode de l'ensemble lentille étant monté en aval du faisceau du cylindre. Une première électrode comporte un rebord de criblage cylindrique s'étendant autour de l'électrode de champ. Une autre électrode de criblage se situe à l'entrée du tube de confinement électronique du système PFS.
Designated States: DE, JP, KR, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
US5932882JPH10512393 KR1019980701342