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1. (WO1997017715) PULSED ELECTRON BEAM SOURCE AND USE THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1997/017715 International Application No.: PCT/EP1996/004763
Publication Date: 15.05.1997 International Filing Date: 02.11.1996
Chapter 2 Demand Filed: 04.04.1997
IPC:
H01J 3/02 (2006.01) ,H01J 37/06 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
3
Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02
Electron guns
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06
Electron sources; Electron guns
Applicants:
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH [DE/DE]; Weberstrasse 5 D-76133 Karlsruhe, DE (AllExceptUS)
SCHULTHEISS, Christoph [DE/DE]; DE (UsOnly)
ENGELKO, Vladimir [RU/RU]; RU (UsOnly)
KRAFFT, Gerd [DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHUMACHER, Gustav [DE/DE]; DE (UsOnly)
MÜLLER, Georg [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
SCHULTHEISS, Christoph; DE
ENGELKO, Vladimir; RU
KRAFFT, Gerd; DE
SCHUMACHER, Gustav; DE
MÜLLER, Georg; DE
Priority Data:
195 41 510.808.11.1995DE
Title (DE) GEPULSTE ELEKTRONENSTRAHLQUELLE UND DEREN VERWENDUNG
(EN) PULSED ELECTRON BEAM SOURCE AND USE THEREOF
(FR) SOURCE DE FAISCEAU ELECTRONIQUE PULSEE ET UTILISATION DE LADITE SOURCE
Abstract:
(DE) Die Erfindung betrifft eine gepulste Elektronenstrahlquelle nach dem Vakuumdiodenprinzip bestehend aus einer Vakuumdiode mit einer Multipunkt-Emissionskathode (MPEK), einem Steuergitter, einem Pulsgenerator, einer magnetischen Kompressionseinheit aus Feldspulen, einem Driftraum, einem Targetraum und einer Synchronisationseinheit. Aufgabe der Erfindung ist es, die Elektronenstrahlquelle derart auszugestalten, daß Pulslängen von 100 $g(m)s erreichbar sind und die Pulsform nicht nur rechteckig ist, sondern auch Stufen aufweisen kann. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die MPEK in eine frei flotierende Schirmelektrode eingebettet ist.
(EN) The invention relates to a pulsed electron beam source based on the vacuum diode principle and comprising: a vacuum diode with a multipoint emission cathode; a control grid; a pulse generator; a magnetic compression unit made from field coils; a drift chamber; a target chamber; and a synchronisation unit. The objective of the invention is to design the electron beam source in such a way that pulse durations of 100 microseconds are attainable and the pulse shape can be stepped rather than simply rectangular. This is achieved by embedding the multipoint emission cathode in a free-floating shield grid.
(FR) L'invention concerne une source de faisceau électronique pulsée selon le principe d'une diode à vide et comprenant une diode à vide contenant une cathode d'émission multipoint (MPEK), une grille de commande, un générateur d'impulsions, une unité de compression magnétique formée d'un stator inductif, un espace de dérive, un espace cible et une unité de synchronisation. L'invention a pour objet de concevoir la source de faisceau électronique de façon à obtenir des durées d'impulsions de 100 $g(m)s et des impulsions de forme non seulement rectangulaire mais aussi étagée. Pour ce faire, la cathode MPEK est intégrée dans une grille de protection flottant librement.
Designated States: JP, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP0860019US6049162JP3202244 JPH11500858