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1. (WO1997011849) INK-JET PRINTING HEAD AND METHOD OF MANUFACTURING IT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/011849    International Application No.:    PCT/DE1996/001858
Publication Date: 03.04.1997 International Filing Date: 27.09.1996
Chapter 2 Demand Filed:    28.04.1997    
IPC:
B41J 2/14 (2006.01), B41J 2/16 (2006.01)
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (For All Designated States Except US).
WERNER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ZETTLER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: WERNER, Wolfgang; (DE).
ZETTLER, Thomas; (DE)
Priority Data:
195 36 429.5 29.09.1995 DE
Title (DE) TINTENSTRAHLDRUCKKOPF UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SOLCHEN TINTENSTRAHLDRUCKKOPFES
(EN) INK-JET PRINTING HEAD AND METHOD OF MANUFACTURING IT
(FR) TETE D'IMPRESSION A JET D'ENCRE ET PROCEDE DE FABRICATION CORRESPONDANT
Abstract: front page image
(DE)Der Tintenstrahldruckkopf nach der Erfindung weist eine Vielzahl von parallel zueinander liegenden Kanälen (K; K1, K2...) auf, die durch Öffnungen (O) einer über den Kanälen (K; K1, K2...) liegende erste Schicht (6) isotrop geätzt werden. Nach dem Ätzvorgang werden die Öffnungen (O) der ersten Schicht (6) verschlossen, in dem auf die erste Schicht (6) eine zweite Schicht (7) abgeschieden wird, welche die Öffnungen (O), die beispielsweise einen Durchmesser von 1 $g(m)m aufweisen, überdeckt. Die durch Fotolithographie und anschließendes Trockenätzen in der ersten Schicht (6) erzeugten Öffnungen (O) sind so angeordnet, daß bei dem Ätzvorgang die gewünschten Kanäle (K; K1, K2...) unterhalb der ersten Schicht (5) freigelegt werden. Vorteile: kein Justageaufwand, Erzeugung geschlossener Kanäle ohne Bond- oder Klebetechniken, Integration von Ansteuerschaltung und Druckkopf auf einem Substrat möglich.
(EN)The proposed ink-jet printing head has a plurality of parallel channels (K; K1; K2;...) which are etched isotropically through apertures (O) in a first layer (6) overlying the channels (K; K1; K2;...). After the etching process, the apertures (O) in the first layer (6) are closed off by the deposition on the first layer (6) of a second layer (7) which covers the apertures (O), the latter having a diameter of, for example, 1 $g(m)m. The apertures (O) produced in the first layer (6) by photolithography and subsequent dry etching are arranged in such a way that the desired channels (K; K1; K2;...) beneath the first layer (6) are exposed by the etching process. Advantages: no adjustment-related costs, formation of closed channels without bonding or adhesive techniques, possibility of integrating the trigger circuit and printing head on a single substrate.
(FR)L'invention concerne une tête d'impression à jet d'encre, laquelle présente une pluralité de canaux (K; K1 K2...) parallèles, formés par mordançage isotrope à travers les orifices (O) d'une première couche (6) qui recouvre les canaux (K; K1, K2...). Après l'opération de mordançage, les orifices (O) de la première couche (6) qui ont, par exemple, un diamètre de 1 $g(m)m, sont fermés par dépôt d'une seconde couche (7) sur ladite première couche (6). Les orifices (O) pratiqués dans la première couche (6) par une opération de photolithographie suivie d'un mordançage à sec sont disposés de telle manière que les canaux souhaités (K; K1, K2...), situés dessous la première couche (6), puissent être dégagés lors de l'opération de mordançage. Avantages : suppression des coûts d'ajustage, production de canaux fermés avec suppression des opérations de connexion et de collage, intégration possible du circuit de commande et de la tête d'impression sur un substrat.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)