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1. (WO1997010082) WAFER GRIPPER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/010082    International Application No.:    PCT/US1996/014678
Publication Date: 20.03.1997 International Filing Date: 13.09.1996
Chapter 2 Demand Filed:    11.04.1997    
IPC:
B25J 15/02 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: SILICON VALLEY GROUP, INC. [US/US]; Suite 400, 101 Metro Drive, San Jose, CA 95110 (US) (For All Designated States Except US).
VAN DOREN, Matthew, J. [US/US]; (US) (For US Only).
SAUER, Don [US/US]; (US) (For US Only).
SLOCUM, Alexander, H. [US/US]; (US) (For US Only).
ROCKI, David, Pap [US/US]; (US) (For US Only).
TAM, Johann [US/US]; (US) (For US Only).
GERSZEWSKLI, Larry [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: VAN DOREN, Matthew, J.; (US).
SAUER, Don; (US).
SLOCUM, Alexander, H.; (US).
ROCKI, David, Pap; (US).
TAM, Johann; (US).
GERSZEWSKLI, Larry; (US)
Agent: WALKER, William, B.; Enterprise Law Group, Inc., Suite 280, 4400 Bohannon Drive, Menlo Park, CA 94025-1041 (US)
Priority Data:
08/527,796 13.09.1995 US
Title (EN) WAFER GRIPPER
(FR) DISPOSITIF DE PREHENSION DE TRANCHES
Abstract: front page image
(EN)A wafer gripper assembly (12) comprises first and second gripping members (14) for movably supported relative to each other. A motor (26) propels the gripping members linearly towards and away from each other. Preferably, both gripping members are movably supported, the propelling motor producing equal and opposite linear movement of the gripping members. Typically at least six contactor elements (18) are defined on the pair of gripping members. The contactor elements include a vertically extending portion (100) having an inwardly facing convex surface (102) for contacting an edge of a wafer, and an inwardly extending flange (104) for supporting a lower surface of the wafer.
(FR)Ensemble de préhension (12) de tranches comprenant des premier et second éléments de préhension (14) montés amovibles l'un par rapport à l'autre. Un moteur (26) rapproche ou éloigne les éléments de préhension de manière linéaire. De préférence, les deux éléments de préhension sont supportés amovibles, le moteur d'entraînement suscitant un déplacement linéaire des éléments de préhension, égal et opposé. Généralement, au moins six éléments contacteurs (18) sont formés sur la paire d'éléments de préhension. Les éléments contacteurs comportent une partie s'étendant verticalement (100) dont la surface convexe opposée orientée vers l'intérieur (102) vient en contact avec le bord d'une tranche, et un rebord s'étendant vers l'intérieur (104) permet de supporter une surface inférieure de la tranche.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN.
African Regional Intellectual Property Organization (KE, LS, MW, SD, SZ, UG)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)