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1. (WO1997009584) CANTILEVER WITH INTEGRATED DEFLECTION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/009584    International Application No.:    PCT/IB1995/000724
Publication Date: 13.03.1997 International Filing Date: 01.09.1995
IPC:
G01B 7/34 (2006.01), G01N 27/00 (2006.01)
Applicants: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; Old Orchard Road, Armonk, NY 10504 (US)
Inventors: BINNIG, Gerd, Karl; (CH).
ROHRER, Heinrich; (CH).
VETTIGER, Peter; (CH)
Agent: BARTH, Carl, Oho; International Business Machines Corporation, Säumerstrasse 4, CH-8803 Rüschlikon (CH)
Priority Data:
Title (EN) CANTILEVER WITH INTEGRATED DEFLECTION SENSOR
(FR) PIECE EN PORTE-A-FAUX A DETECTEUR DE DEFLEXION INTEGRE
Abstract: front page image
(EN)A cantilever for scanning probe microscopy and other force of deflection measurements is decribed; said cantilever comprising at least one integrated strain sensing element within a constriction section (62). The cantilever is improved over known cantilevers by reducing the longitudinal extension of the constriction, such that its contribution to the total deflection of the cantilever is reduced. The design of the cantilever is further improved by applying a beam (63) with an essentially triangular cross section in either a vertical or a horizontal plane or both.
(FR)L'invention concerne une pièce en porte-à-faux pour la microscopie à balayage à sonde et à d'autres mesures de forces ou de déflexion. Ladite pièce en porte-à-faux inclut au moins un élément intégré sensible à la déformation, logé dans une partie constriction (62). La pièce en porte-à-faux est perfectionnée par rapport aux pièces en porte-à-faux connues, du fait que l'extension longitudinale de la partie constriction est réduite. Ainsi, la contribution de la constriction à la déflexion totale de la pièce en porte-à-faux est plus faible. La conception de la pièce en porte-à-faux est en outre améliorée grâce à la présence d'une poutre (63) de section essentiellement triangulaire dans un plan vertical, horizontal ou les deux à la fois.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)