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1. (WO1997006292) SOURCES USED IN MOLECULAR BEAM EPITAXY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1997/006292    International Application No.:    PCT/GB1996/001882
Publication Date: 20.02.1997 International Filing Date: 02.08.1996
Chapter 2 Demand Filed:    24.02.1997    
IPC:
C30B 23/06 (2006.01)
Applicants: THERMO INSTRUMENT SYSTEMS INC. [US/US]; 81 Wyman Street, Waltham, MA 02254 (US) (For All Designated States Except US).
POOLE, David, Charles [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: POOLE, David, Charles; (GB)
Agent: BOULT WADE TENNANT; 27 Furnival Street, London EC4A 1PQ (GB)
Priority Data:
9515929.9 03.08.1995 GB
Title (EN) SOURCES USED IN MOLECULAR BEAM EPITAXY
(FR) SOURCES UTILISEES POUR L'EPITAXIE PAR JETS MOLECULAIRES
Abstract: front page image
(EN)A source for Molecular Beam Epitaxy (MBE) including an open-ended crucible and a removable orificed cover plate for covering the open end of the crucible, the cover plate having an encapsulated heater, preferably of Pyrolytic Graphite, which reduces orifice blockage.
(FR)L'invention porte sur une source utilisée pour l'épitaxie par jets moléculaire, comprenant un creuset ouvert à une extrémité et une plaque de couverture amovible et perforée, destinée à fermer l'extrémité ouverte du creuset. Cette plaque de couverture comporte un élément chauffant encapsulé, de préférence en graphite pyrolytique, qui réduit le blocage de l'orifice.
Designated States: GB, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)