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1. (WO1997003001) SEALABLE, TRANSPORTABLE CONTAINER HAVING A BREATHER ASSEMBLY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/1997/003001 International Application No.: PCT/US1996/011296
Publication Date: 30.01.1997 International Filing Date: 03.07.1996
Chapter 2 Demand Filed: 09.01.1997
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
673
using specially adapted carriers
Applicants:
ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 48761 Kato Road Fremont, CA 94538, US
Inventors:
BONORA, Anthony, C.; US
ROSENQUIST, Frederick, T.; US
JAIN, Sudhir; US
DAVIS, Mark, R.; US
Agent:
MILLER, Mark, E. ; Fliesler, Dubb, Meyer & Lovejoy Suite 400 Four Embarcadero Center San Francisco, CA 94111-4156, US
Priority Data:
08/499,58807.07.1995US
Title (EN) SEALABLE, TRANSPORTABLE CONTAINER HAVING A BREATHER ASSEMBLY
(FR) RECIPIENT TRANSPORTABLE A FERMETURE HERMETIQUE ET A ENSEMBLE PRISE D'AIR
Abstract:
(EN) A transportable, sealable container (18), for example a SMIF pod, including a box (20) and a box door (32). The box (20) has a first sealing surface (91) and the box door (32) has a second sealing surface (93). The two sealing surfaces (91, 93) form a seal when the box door (32) is moved in a sealing position with respect to the box (20). A latch mechanism (118) is provided in the box door (32) for holding the box door in the sealing position. The container further includes a breather assembly having an aperture (110), with a filter (74), that allows gas to flow between the interior of the container (18) and an environment external to the container. A valve (112), which is latched by the latch (118), opens and closes the aperture (110). When the latch (118) unlocks the box door (32), the valve (112) opens the aperture (110). When the door (32) is locked, the valve (112) closes the aperture (110).
(FR) L'invention concerne un récipient transportable à fermeture hermétique (18), par exemple une coque à interface mécanique normalisée (SMIF), qui est dotée d'une boîte (20) et d'une porte (32) fermant cette boîte. La boîte (20) a une première surface d'étanchéité (91) et la porte (32) de la boîte a une seconde surface d'étanchéité (93). Les deux surfaces d'étanchéité (91, 93) rendent l'ensemble étanche lorsque la porte (32) de la boîte est mise en position de fermeture hermétique par rapport à la boîte (20). Un mécanisme de verrouillage (118) sur la porte (32) de la boîte permet de maintenir ladite porte en position fermée. Le récipient comprend par ailleurs un ensemble prise d'air doté d'une ouverture (110), et aussi d'un filtre (74), ce système assurant les échanges de flux gazeux entre l'intérieur du récipient (18) et un environnement extérieur au récipient. Une valve (112) fermée par le mécanisme de verrouillage (118) ouvre et obture l'ouverture (110). Lorsque le mécanisme de verrouillage (18) déverrouille la porte (32) de la boîte, la valve (112) ouvre l'orifice (110). Lorsque la porte (32) est verrouillée, la valve (112) obture l'ouverture (110).
Designated States: DE, JP, KR
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)